【原创】高分毕设！手把手教你学comsol——三轴MEMS陀螺仪模型搭建与仿真

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        随着微机械技术的发展，MEMS 技术广泛应用在在航空航天、智能手机和虚拟现 实等领域。其中，陀螺仪作为组成运动控制平台的重要元件，近年来备受关注。本文将展示如何使用solidworks建模三轴环形陀螺仪，并使用comsol对其进行模态仿真、谐响应仿真、重力仿真等。

一、结构设计 

        通过研究国内外三轴 MEMS 的发展现状，可得知相比于方形陀螺，环状陀螺由于更加对称，具有更出色的抗过载能力。并且环形陀螺的结构简单，故成本较低。

        陀螺另一个重要的结构就是弹性梁，它可以储存机械能、提供弹力，并将力/力矩转 换成弹性应变和位移，并通过检测位移/应变的变化，转换成电信号并由检测器件输出。 合理设计弹性梁的形状和弹性系数，可以有效地实现陀螺的预期驱动和检测模式，并减少对干扰模式的影响。

1.1 弹性梁设计

        目前， MEMS 陀螺仪大多采用的弹性梁有直梁、L 型梁、U 型梁、S 型梁等，如下图：

        通过 COMSOL 软件的稳态研究进行应力与位移仿真，对相同地方施加约束后，分别对 X、Y、Z 轴方向施加载荷（0.01N），四类弹性梁的仿真分析结果如下（X轴应力）

         为了方便比较，下面将仿真得到的应力与位移数据统计为表格 ，如下所示：

        相较于直梁与L型梁，U 型梁与 S 型梁在 X、Y、Z 方向上刚度 相对较小，且三个方向上的刚度相差较大，体现出较为良好的解耦性能。其中，S 型梁 的刚度明显小于其余三种弹性梁。，可以更好地适应三轴 MEMS 陀螺仪的工作特性。

        故采用solidworks对三轴陀螺仪整体建模如下：

二、 仿真分析

2.1 模态仿真

        在 Comsol 软件中导入 Solidworks 所建的模型结构，定义材料为各向同性 MEMS 材料，固定锚点约束后划分网格，选取三轴轮环形陀螺仪的前十二 阶模态仿真结果，如图 4.12 所示，可知，该陀螺仪的第一阶模态Y 轴检测模态；第二 阶模态为X/Y 轴驱动模态；第三阶模态为X 轴检测模态；第四阶至第九阶为陀螺仪的干扰模态，第十阶模态Z轴检测模态；第十一阶模态为Z 轴驱动模态，第十二阶为陀螺仪的干扰模态。

        通过修改陀螺仪结构的主要尺寸，分析其对谐振频率的影响规律，可确定相对最优结构参数设计方案来达到工作频率的要求。

         最终，本文设计的陀螺结构固有频率如下：

        根据仿真结果显示，该三轴 MEMS 陀螺仪的驱动模式和检测模式的固有频率与其 他干扰模式的固有频率存在明显差异，表明干扰影响与耦合较小，证明这种结构设计 与参数选择是合理可行的。此外，X 轴的最大频差仅为 2.1Hz，频差较小，表明陀螺仪 的 X 轴灵敏度较高。 

2.2 灵敏度计算

        公式较长，详见资源文件。本文所设计的陀螺仪X轴检测灵敏度为7.65𝑓𝐹/°/𝑠，Y轴检测灵 敏度为 1.41𝑓𝐹/°/𝑠,，Z 轴检测灵敏度为 2.83fF/°/s，三轴的灵敏度均较高。

2.3 谐响应分析

        谐响应分析可用来预测物体在正弦谐波干扰作用下的稳态响应，在 MEMS 器件设计中至关重要。通过分析器件在不同频率下的响应，可以确保其在复杂环境中稳定运 行，避免共振和疲劳等问题，从而提高其性能和可靠性。

        分别在驱动和检测方向施加1uN的简谐驱动力。

        加载后谐振环与轮结构的振幅响应结果与应力位移云图如下（外环驱动模态）：

        观察上述位移响应曲线图可知，谐振环与轮结构的驱动模态位移峰值在该频率范 围内均只有唯一值，即 Z 轴驱动频率 9502Hz，未被干扰模态影响。

2.4 重力载荷仿真

        为确保本文所设计的三轴 MEMS 陀螺仪在静止状态下，弹性梁不会因为自身重力过大而发生破裂，本文对其进行了重力载荷仿真，旨在验证陀螺仪的稳定性和可靠性。

        对陀螺结构施加 Z 方向上的重力载荷，大小为 1g，加载后得到陀螺的应力分布与位移云图如下图所示。可以看到，在重力作用下，陀螺仪在 Z 轴方向的位移仅为 0.0102nm，产生的应力也只有 0.428MPa，比起单晶硅的许用应力（1GPa）可忽略不计， 设计的陀螺仪结构强度符合要求。

2.5 抗过载仿真分析 

        影响 MEMS 陀螺仪冲激响应的主要因素有加速度的峰值 𝐴 、持续时间 𝑡0 以及陀螺仪振动工作模态 的频率 fgyro。

        使用 COMSOL 软件对三轴 MEMS 陀螺仪进行瞬态冲击响应仿真。为了探究结构 陀螺的抗高过载能力，在 X、Y、Z 轴方向施加一个脉宽为 5 ms、幅值为 10000 g 的半正弦高过载加速度。应力位移图如下（Z轴）： 

        陀螺在 Z 方向上受到的应力最大，为 741 MPa，位移为 0.948 ffm，远低于硅结构的许用应力（1GPa），说明结构具有较好的抗冲击特性。 

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三、检测电路

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