芯片生产流程
一、IC 设计
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规格制定
- 确定IC的目的、效能
- 符合具体哪些协定
- 确立IC实作方法:将不同功能分配成不同的单元,并确立不同单元间连结的方法
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设计芯片
- 使用硬体描述语言(HDL)将电路描写出来
- 检查程式功能的正确性并持续修改,直到它满足期望的功能
- 形成HDL code
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逻辑电路
- 将确定无误的 HDL code,放入电子设计自动化工具(EDA),让电脑将 HDL code 转换成逻辑电路,产生如下的电路图。之后,反覆的确定此逻辑闸设计图是否符合规格并修改,直到功能正确为止。
- 将确定无误的 HDL code,放入电子设计自动化工具(EDA),让电脑将 HDL code 转换成逻辑电路,产生如下的电路图。之后,反覆的确定此逻辑闸设计图是否符合规格并修改,直到功能正确为止。
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电路布局与绕线
- 将合成完的程式码再放入另一套 EDA,进行电路布局与绕线(Place And Route)。在经过不断的检测后,便会形成如下的电路图。图中可以看到蓝、红、绿、黄等不同颜色,每种不同的颜色就代表着一张光罩(layout-光罩布局)
- 将合成完的程式码再放入另一套 EDA,进行电路布局与绕线(Place And Route)。在经过不断的检测后,便会形成如下的电路图。图中可以看到蓝、红、绿、黄等不同颜色,每种不同的颜色就代表着一张光罩(layout-光罩布局)
二、IC制造
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单晶硅
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DIFF(扩散)
- FURNACE(炉管)
- WET(湿刻)
- IMP(离子注入)
- RTP(快速热处理)
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TF(薄膜)
- PVD(物理气相淀积)
- CVD(化学气相淀积)
- CMP(化学机械研磨)
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PHOTO(光刻)
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ETCH(刻蚀)