数字源表搭建集成电路教学测试平台

本科生集成电路实验目的

 通过实验动手操作，加深对半导体物理理论知识的理解，掌握半导体材料和不同器件性能的表征方法及基本实验技能，培养分析问题和解决问题的能力。

本科生集成电路实验目录
实验一：金属-氧化物-半导体场效应晶体管特性IV特性测试实验
实验二：四探针法测量半导体电阻率测试实验
实验三： MOS电容的CV特性测试实验
实验四：半导体霍尔效应测试实验实验
实验五：激光二极管LD的LIV特性测试实验
实验六：太阳能电池的特性表征实验

本科生集成电路实验平台优势
满足本科生基础教学实验中微电子器件和材料测试需求
测试设备简单易用，专业权威，方便学生动手操作
核心设备测试精度高，满足新材料和新器件的指标要求
测试软件功能齐全，平台化设计，有专人维护支持，与专业测试软件使用相同架构
以基础平台为起点，可逐步升级，满足日益增加的实验室测试需求

本科生集成电路实验基本功能

实验名称	测试参数
金属-氧化物-半导体场效应晶体管特性的IV特性测试实验	输出特性曲线 转移特性曲线 跨导gm 击穿电压BVDS
四探针法测量半导体电阻率测试实验	四探针法电阻率ρ 材料阻值R
MOS电容的CV特性测试实验（低频 + 高频）	CV特性曲线
半导体霍尔效应测试实验	霍尔电压VH 霍尔电阻率ρ 霍尔系数RH 载流子浓度n 霍尔迁移率u
激光二极管LD的LIV特性测试	LIV特性曲线 阈值电流Ith 阈值电流对应电压值Vth 拐点Kink 线性电阻Rs
太阳能电池的特性表征	开路电压Voc 短路电流Isc 功率最大值Pmax 填充因子FF 转换效率η 串联电阻Rs 旁路电阻Rsh

本科生集成电路实验平台核心

测试平台的核心– 源测量单元（源表， SMU）

 

普赛斯国产源表四表合一 四象限模式
四线/开尔文测试功能
小信号测试
满足先进器件和材料测试需求

交流测试使用LCR表

探针台：4寸或6寸手动探针台