FIB聚焦离子束技术在检测样品时样品的制备流程解析
聚焦离子束FIB技术是一种基于离子光学原理的微纳米加工技术,其具有高精度、高效率、实时性好等优点。FIB技术在我国科研、工业等领域得到了广泛的应用,尤其在样品制备方面,FIB技术具有独特的优势。本文将详细介绍FIB技术在样品制备中的应用及制样流程。
FIB聚焦离子束技术原理
FIB技术是利用聚焦的离子束对样品进行高精度、高效率的加工。其基本原理是将离子源产生的离子束经过聚焦、扫描等处理后,使其在样品表面形成一个高能量密度的离子束斑点,通过调节离子束的参数,实现对样品的切割、抛光等加工过程。
FIB聚焦离子束制样流程
样品固定:将待制备的样品固定在FIB设备的工作台上,确保样品在加工过程中保持稳定。常见的固定方式有机械夹持、真空吸附等。
离子束扫描:开启离子源,使离子束在样品表面进行扫描,调整离子束的扫描速度、束流等参数,观察样品表面的反应,为后续加工过程做好准备。
离子束切割:根据样品的形貌和结构,设定离子束的切割路径。通过调节离子束的参数,实现对样品的切割。在切割过程中,需要注意切割速度、离子束直径等参数的优化,以保证切割质量。
离子束抛光:在切割完成后,利用离子束对样品进行抛光,以去除切割过程中产生的损伤层和杂质。抛光过程中,需要关注离子束的参数调节,以及抛光液的选用。
样品转移:将制备好的样品从FIB设备上取下,转移到其他分析设备(如扫描电子显微镜、透射电子显微镜等)上进行进一步分析。
数据采集与处理:在样品制备过程中,实时采集离子束加工参数、样品形貌等信息,并对数据进行分析处理,以便优化制备过程。