关于“MEMS光开关”你可能不知道的事

什么是MEMS？MEMS （Micro－Electro－Mechanical System）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电极，以便通过电子技术进行控制。

MEMS是一种微电机系统，在制备微机械结构之后，需要以电子技术进行驱动。典型的驱动机制包括静电引力、电磁力、电致伸缩和热电偶。在MEMS器件的所有驱动机制中，静电引力结构因制备简单、易于控制和低功耗，得到最广泛的应用。

MEMS光开关是在硅晶上刻出若干微小的镜片，通过静电力或电磁力的作用，使微镜阵列产生转动，从而改变输入光的传播方向以实现光路通断的功能。MEMS光开关切换光波路由是通过外部控制信息以及相应的高低电平控制内部微镜片抬升与否来完成的。

 

 

一般说来，MEMS光开关从空间结构上可分成这样两种，即2D开关和3D开关。

 

（a） 2－D MEMS光开关     （b） 3－D MEMS 光开关

 

2D MEMS的空间旋转镜通过表面微机械制造技术单片集成在硅基底上，准直光通过微镜的旋转控制被接到指定的输出端。当微镜为水平时，可使光束从该微镜上面通过