MEMS - 基础 - 悬臂梁的挠度

在MEMS的使用和设计的时候，控制机械的杆系结构，可以抽象为悬臂梁，而，控制中电磁感给微杆件器件的力，就是这个悬臂梁的挠度。

1 下图为悬臂梁的的经典挠度方程，我们在计算MEMS收到的电磁场力的时候，可以套用相关的公式。 

2 上图中的各个受力的分析方法中，我们一般用图二来套，

因为2图上面的力作用在悬臂梁的段上，这样，如果我们用微分的方法，那么，微分方程考虑的微分元受到的力就是这个力学方程。

由此，可得微分方程如下：

然后，引入静电力学方程，

积分后，就是整个挠度的方程，

然后，通过换元法，

求解出来转动需要的电压值