在有关和国际标准中,对材料表面保护、装饰形成的覆盖层,如涂层、镀层、敷层、贴层、化学生成膜等,统称为覆层
( coating )。在加工工业、表面工程质量检测中,对覆层的厚度检测是检验产品优等质量标准的环节和必备手段。风速仪覆层厚度的测量方法主要有:楔切法,光截法,电解法,厚度差测量法,称重法,X射线荧光法,β射线反向散射法,电容法、磁性测量法及涡流测量法等。这些方法中前五种是有损检测,测量手段繁琐,速度慢,多适用于抽样检验。
X射线和β射线法是无接触无损测量,但装置复杂昂贵,测量范围较小。因有放射源,使用者必须遵守射线防护规范。X射线法可测薄镀层、双镀层、合金镀层。β射线法适合镀层和底材原子序号大于3的镀层测量。电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。
随着科学技术的,对覆层厚度的测量的技术也随之。特别是近年来引入微机技术后,采用的磁性法和涡流法的测厚仪进行覆层厚度的检测。此类测厚仪向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。测量的分辨率有了大幅度的提高,测量分辨率已达0.1微米,精度可达到1%。下面分别介绍磁性法和涡流法的测厚仪的原理。