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1. CMOS器件网格、偏置电压、输入输出
除硅片厚度改为300 μm外,器件的其他参数与https://blog.csdn.net/2402_82964571/article/details/137190371?spm=1001.2014.3001.5501相同。
PMOS的衬底和源极加5 V电压,NMOS的衬底和源极接地,PMOS和NMOS的栅极输入5 V的恒定电压,PMOS和NMOS的漏极为输出。
器件初始网格如下。
2. 双阱对单粒子翻转和单粒子闩锁的影响
在NMOS一侧加入一个P阱,其宽度为2.2 μm,深度为2.7 μm,扩散特征长度为0.2 μm。这样,该CMOS器件中具有双阱。
(1) 单个氩离子由PMOS漏极注入
改变P阱的注入剂量,得到输出电压和流出PMOS漏极的电流如下图:
─── 无P阱 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为
─── 无P阱 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为
从图中看出,NMOS中P阱的注入剂量越大,单粒子翻转持续的时间越长且造成的输出电压越大,单粒子闩锁基本不受影响。故CMOS器件中的双阱对器件的抗单粒子翻转加固不利。
(2) 单个氩离子由NMOS的漏极注入
对单个氩离子由NMOS漏极注入的情况进行仿真。
改变P阱的注入剂量,得到输出电压和流入PMOS漏极的电流如下图:
─── 无P阱 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为
─── 无P阱 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为 ─── P阱注入剂量为
从图中看出,双阱会加强辐照对输出电压和漏极电流造成的扰动。
3. 仿真源代码
TITLE CMOStest
MESH SMOOTH=1
X.MESH WIDTH=5.0 H1=0.125
Y.MESH N=1 L=-0.0125
Y.MESH N=2 L=0
Y.MESH N=3 L=0.01875
Y.MESH N=4 L=0.1
Y.MESH DEPTH=2.0 H1=0.125 H2=0.5
Y.MESH DEPTH=298 H1=1
ELIMIN COLUMNS Y.MIN=3.5
ELIMIN COLUMNS Y.MIN=6
ELIMIN COLUMNS Y.MIN=10
SPREAD LEFT WIDTH=0.4 UP=1 LO=2 THICK=.1 ENC=2
SPREAD RIGHT WIDTH=0.9 UP=1 LO=2 THICK=.1 ENC=2
SPREAD LEFT WIDTH=6 UP=3 LO=4 Y.LO=0.1
REGION SILICON
REGION OXIDE IY.MAX=3
REGION OXIDE X.MIN=2 X.MAX=2.9 Y.MAX=2.7
ELECTR NAME=NB BOTTOM
ELECTR NAME=NS X.MIN=0.0 X.MAX=0.4 IY.MAX=3
ELECTR NAME=NG X.MIN=0.5 X.MAX=1.0 TOP
ELECTR NAME=ND X.MIN=1.1 X.MAX=1.5 IY.MAX=3
ELECTR NAME=PD X.MIN=3.0 X.MAX=3.4 IY.MAX=3
ELECTR NAME=PG X.MIN=3.5 X.MAX=4.0 TOP
ELECTR NAME=PS X.MIN=4.1 X.MAX=4.4 IY.MAX=3
ELECTR NAME=PB X.MIN=4.6 X.MAX=5.0 IY.MAX=3
PROFILE P-TYPE N.PEAK=6.25E14 UNIFORM
PROFILE P-TYPE N.PEAK=7E15 Y.CHAR=0.2
PROFILE P-TYPE DOSE=6.17E12 X.MIN=0 WIDTH=2.2 Y.JUNC=2.7 XY.RAT=0.2
PROFILE N-TYPE DOSE=3E15 Y.JUNC=.125 X.MIN=0.0 WIDTH=0.4 XY.RAT=0.2
PROFILE N-TYPE DOSE=3E15 Y.JUNC=.125 X.MIN=1.1 WIDTH=0.4 XY.RAT=0.2
PROFILE N-TYPE DOSE=6.17E12 X.MIN=2.8 WIDTH=2.2 Y.JUNC=2.7 XY.RAT=0.2
PROFILE N-TYPE DOSE=3E15 Y.JUNC=.125 X.MIN=4.6 WIDTH=0.4 XY.RAT=0.2
PROFILE P-TYPE DOSE=1.13E15 Y.JUNC=.125 X.MIN=3.0 WIDTH=.4 XY.RAT=0.2
PROFILE P-TYPE DOSE=1.13E15 Y.JUNC=.125 X.MIN=4.1 WIDTH=.4 XY.RAT=0.2
INTERFAC QF=1E10
PLOT.2D GRID TITLE="Initial Grid" Y.MIN=-0.0125 Y.MAX=3.0 FILL SCALE
SAVE MESH OUT.FILE=CMOSINV W.MODELS
START CIRCUIT
VDD 3 0 5
VIN 1 0 5
PCMOS 1=NG 1=PG 2=ND 2=PD 3=PS 3=PB 0=NS 0=NB
+ FILE=CMOSINV WIDTH=5.0
.NODESET V(1)=3 V(2)=0 V(3)=3
FINISH CIRCUIT
SYMBOLIC GUMMEL CARRIERS=0
METHOD DAMPED
SOLVE
SYMBOLIC NEWTON CARRIERS=2
SOLVE
PHOTOGEN X.START=3.2 X.END=3.2 Y.START=0.0 Y.END=3.0
+ R.CHAR=0.2 T0=3.0E-12 TC=1.5E-12 IN.FILE=/home/medici/medici_2003.6.0/examples/mde6let
+ PC.UNIT GAUSS
LOG OUT.FILE=PTGLOG
METHOD TOL.TIME=2e-2
SOLVE TSTEP=0.5E-12 TSTOP=1E-7
PLOT.1D X.AX=TIME Y.AX=VC(2) TOP=5 BOT=0 LEFT=0.5E-12 RIGHT=1E-7 X.LOG POINTS SYMB=1
+ TITLE="Waveforms: SEU"
PLOT.1D X.AX=TIME Y.AX=I(PCMOS.PD) TOP=0.08 BOT=0 LEFT=0.5E-12 RIGHT=1E-7 X.LOG POINTS
+ TITLE="Drain current" ABSOLUTE