半导体测试基础：半导体器件特性分析

引言

半导体测试是确保电子设备可靠性和性能的重要环节，本文探讨了这一过程中的关键概念、方法和工具，旨在帮助工程师和技术人员更好地理解和执行有效的测试程序。

1. 器件特性分析的重要性

器件特性分析的目的在于确定器件在极端条件下的操作极限。通过使用二分法搜索（Binary Search）和线性搜索（Linear Search），以及Shmoo图（Shmoo Plot），可以有效地找到这些极限值。电压、电流和时间参数都是常见的特征化参数。

1.1 特征化参数

为了进行器件特性分析，必须能够生成一个“通过/失败”结果。例如，在特性化VIL（输入低电平）参数时，可以首先将所有输入设置为零伏，并运行功能测试模式，这应导致一个通过的结果。然后，将VIL水平设置为2V并再次运行测试，此时应该出现失败结果。有了这些已知的通过和失败值，便可以进行进一步的搜索以确定精确的VIL电压阈值。

二分法搜索
二分法搜索是一种高效的方法，用于在一个较大的数值范围内找到特定值。该技术采用“分而治之”的策略：首先将可能的值范围分成两半，并测试这个中点值是否接近特定但未知的值。如果中点值小于未知值，则未知值必须位于上半部分；反之亦然。此过程持续进行，直到将可能值范围缩小到所需的测量分辨率以下。

示例
假设我们要特性化某个CMOS器件的VIH（输入高电平）。我们首先将所有输入设置为逻辑高电平，并运行功能测试模式，这应导致一个通过的结果。接下来，我们将VIH水平设置为低于预期的最小值，比如0.8V，并再次运行测试，这时应该出现失败结果。有了这两个边界值，我们可以应用二分法搜索来逐步逼近实际的VIH阈值。

线性搜索
线性搜索则是从最低值开始逐步增加或减少测试值，直到找到边界值。虽然这种方法比二分法简单，但在某些情况下可能需要更多的时间来完成。

2. 测试向量与特性化

特性化需要使器件执行某些功能，以便发现其操作极限。通常，专门设计的功能测试向量对于提取有意义的数据至关重要。然而，用于功能性测试的向量不一定适用于特性化目的。因此，必须清楚理解测试向量的功能，特别是在进行AC参数特性化时。

2.1 二分法搜索的应用实例

假设我们要特性化某个CMOS器件的VIH（输入高电平）。我们首先将所有输入设置为逻辑高电平，并运行功能测试模式，这应导致一个通过的结果。接下来，我们将VIH水平设置为低于预期的最小值，比如0.8V，并再次运行测试，这时应该出现失败结果。有了这两个边界值，我们可以应用二分法搜索来逐步逼近实际的VIH阈值。

示例
假设初始测试显示VIH为3.3V时通过&