在集成电路中,实现从几十欧姆到几兆欧姆的电阻(Rsense)及可变电阻,需要结合半导体工艺和电路设计技术。以下是常见的实现方法及其原理:
一、固定电阻的实现
1. 材料与结构
- (1) 多晶硅电阻(Poly Resistor)
- 原理:通过掺杂多晶硅材料形成电阻,阻值由掺杂浓度、线宽(W)、长度(L)和方块电阻(R□)决定:
- 特点:
- 阻值范围:几十Ω到几十kΩ(通过调整L/W比例实现)。
- 温度系数(TCR)较高(约1000 ppm/°C),但可通过掺杂优化。
- 精度较低(±10%~20%),适合普通应用。
- (2) 扩散电阻(Diffusion Resistor)
- 原理:在硅衬底中掺杂形成N+/P+扩散区作为电阻。
- 特点:
- 阻值范围:几十Ω到几kΩ。
- 精度较差(±20%),且存在寄生电容,适用于非精密电路。
- (3) 阱电阻(Well Resistor)
- 原理:利用深N阱或P阱作为电阻,阻值由阱的掺杂浓度和几何尺寸决定。
- 特点:
- 阻值范围:几百Ω到几kΩ。
- 温度系数较高,但适合高电压应用。
- (4) 金属电阻(Metal Resistor)
- 原理:直接利用金属层(如铝、铜)的走线作为电阻。
- 特点:
- 阻值极低(几十mΩ到几Ω),适合大电流检测(如Rsense)。
- 温度系数低(约4000 ppm/°C),但阻值精度受工艺波动影响。
- (5) 高阻值电阻(>1MΩ)
- 实现方法:
- 使用未掺杂/轻掺杂多晶硅(高方块电阻)。
- 长沟道MOS管(工作在亚阈值区,利用沟道电阻)。
- 串联多个低阻值电阻单元。
- 实现方法:
二、可变电阻的实现
1. MOS管作为可变电阻
- 原理:MOSFET工作在线性区时,其导通电阻(( R_{on} ))由栅极电压(( V_{GS} ))控制:
- 应用:
- 用于模拟电路(如压控放大器、可调滤波器)。
- 阻值范围:几Ω到几kΩ,但线性度较差。
2. 数字电位器(Digital Potentiometer)
- 原理:通过开关矩阵(如CMOS传输门)连接多个固定电阻,形成分压网络,数字信号控制抽头位置。
- 特点:
- 阻值步进可调(如256级),精度取决于电阻单元匹配度。
- 需要额外的控制逻辑电路。
3. 熔丝/反熔丝(Fuse/Anti-Fuse)
- 原理:通过熔断金属连线(熔丝)或击穿介质(反熔丝)改变电阻路径。
- 应用:
- 一次性编程(OTP),用于校准或修调电路。
- 阻值变化范围大(熔丝断开后电阻接近无穷大)。
4. 激光修调(Laser Trimming)
- 原理:在封装前用激光切割电阻条,调整阻值。
- 特点:
- 精度可达±0.1%,但成本高,仅用于高精度模拟芯片(如ADC/DAC)。
5. eFuse(Electrical Fuse)
- 原理:通过大电流烧写金属或多晶硅连线,改变电阻值。
- 特点:
- 可编程次数有限,用于片上校准或安全密钥存储。
6. 新型技术(如相变存储器PCM、ReRAM)
- 原理:利用材料的电阻态变化(如相变材料的晶态/非晶态)。
- 特点:
- 阻值连续可调,适合神经形态计算或高密度存储。
三、设计考虑因素
- 精度与匹配:
- 高精度电阻需采用匹配设计(如共质心布局)和修调技术。
- 温度系数(TCR):
- 多晶硅电阻TCR较高,金属电阻TCR较低。
- 面积与成本:
- 高阻值电阻需要更长的走线,占用较大芯片面积。
- 寄生效应:
- 扩散电阻和阱电阻存在寄生电容,影响高频性能。
四、典型应用场景
- 低阻值(几十Ω):电流检测(Rsense)、电源管理。
- 中高阻值(kΩ~MΩ):偏置电路、RC滤波器、ADC/DAC参考网络。
- 可变电阻:可调增益放大器、传感器校准、功耗优化。
通过结合工艺选择和电路设计,芯片内部能够灵活实现从几十欧姆到几兆欧姆的电阻,满足不同场景的需求。