SEM测试能谱主要测什么元素

扫描电子显微镜（Scanning ElectronMicroscope，简称SEM)是继透射电镜（TEM之后发展起来的一种电子显微镜）。扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。

SEM特点：

1.仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达1.0nm(场发射),3.0nm(钨灯丝);

2.仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍）,且连续可调;

3.图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等);

4.试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜(TEM)的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态;

5.可做综合分析。

6.SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX）(简称波谱似或能量色散X射线谱仪（EDX)(简称能谱仪）后在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。

7.装上半导体样品座附件，可以直接观察晶体管或集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。

8.装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境（加热、冷却、拉伸等)中的试样显微结构形态的动态变化过程（动态观察）。

EDS的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

使用范围：

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析；

2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定；

3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测；

4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；

5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。

SEM-EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

简单的说，SEM扫描电镜是用来看微观形貌的，看看表面的形态、断口、微裂纹等等；EDS能谱检测元素，但是H元素不能检测。

相关问题：

① 现在最先进的SEM的测试底限能达到什么元素呢？能到Li么？

SEM上配的能谱目前可以测到Be4，测Li3目前还不行。B、N等的是可以的但含量不能太低。

② 我想测的元素原子序数很小，B、N什么的，现在有没有办法通过SEM测呢？

在扫描能谱之后，继续步骤往下会有一个元素的确认和元素移除的功能，在这个操作区，你可以将你知道的，对你的测试结果没有影响的，你又不希望它出现在测试数据表中的元素去除，比如C；你也可以将含量低的元素，手动来确认，比如我们检测ITO（氧化铟锡）的时候锡的含量较低，需要最后手动来确认。

测完后，将谱峰的最前端拉高拉宽，然后调用重构功能，点击B，N的元素，看一下红色线的位置是不是能有一个小峰或者重构出的红色曲线可以更好覆盖谱峰。同时查看定量结果，看wt%是不是比sigma wt%值高。

从定性及定量两种手段来判断。

③ 如果仅用SEM,不用EDX,能否区别两种元素,铜(Cu)和镍(Ni);也就是说,一未知样品,仅从SEM图上,能否辨别出是铜(Cu)还是镍(Ni)?(假如只有这两种可能)

首先，你要知道SEM只是用来测量样品的形貌的，不可以作成分测量，但是一般SEM都配有EDS才可以做成分测定，其检测限为0。1%atm，如果没有标准样品的话误差在30%， 并且EDS在测量轻元素，如c,n,o,s,p等本身误差就很大。

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