GEM 工厂应用支持
工厂如何处理这些数据?
与本系列中其他涉及SEMI E30 GEM(通用设备模型)标准的特定特性和功能的文章不同,本篇博客阐述了许多使用设备上收集到的数据的工厂应用程序。
此外,由于我们经常听到这样的问题:“工厂实际如何使用哪些希望我们提供的各种类型的设备信息?”这篇文章将总结出支持这些应用程序所需的具体数据。这个列表并没有涵盖所有的内容,但是应该可以让您了解由GEM数据收集支持其目标的工厂受益者。下图说明了关键性能指标(kpi)、负责优化它们的受益者、用于实现此目的的应用程序以及这些应用程序所需的数据之间的关系。
分享这类信息最有效的方式是表格形式。在一组相关的应用程序中(例如,调度、预防性维护),应用程序通常按照复杂性递增的顺序列出,这也是工厂应用程序开发人员实现的可能顺序。
工厂应用 | 需要的设备数据 |
---|---|
OEE(设备总体效率) | 足够对所有时间段设备状态进行分类的转换事件和状态代码。 |
ntra-equipment material flow 设备内部物料流 | 物料跟踪时间,物料位置状态指示和状态变化时间。 |
Process execution tracking 工艺执行跟踪 | 所有工艺模块的开始/结束事件;所有支持多步骤配方的工艺模块里每个步骤的指示和步骤变化时间 |
WTW (wait time waste) analysis 等待时间损耗分析 | 设备内部物料流和工艺执行跟踪应用程序所需要的事件以及划分所有时间段物料状态所需要的上下文数据的组合。参见SEMI E168产品时间管理标准作进一步解释) |
Time-based PM (Preventive Maintenance) 基于时间的预防性保养 | 现场可替换部件级别的使用次数。 |
Usage-based PM 基于用法的预防性保养 | 每个可替换部件使用参数及累计值,比如状态内市场,执行次数,流体流量,耗材流量,功耗等等。 |
Condition-based PM 基于条件的预防性保养 | 每个可替换部件的有意义的健康指标 |
FDC (错误检测分类) | 特定错误模块所要求的设备/工艺参数及上下文信息(这里想要做到完整比较困难,因为多数FDC系统都有) |
Automated equipment interdiction 自动设备停止 | 远程停止命令(例如当FDC应用感知到以及存在或者将要发生的错误时) |
Equipment configuration Monitoring 设备配置监控 | 重要设备常量的矢量,包括期望值和可接受范围。如果值是依赖于设置的期望值和可接受范围会有多套。这套系统是为了能够捕获因为操作人员手工修改参数导致的人为错误。 |
Component fingerprinting 组件识别 | 设备关键机制的性能参数,包括传感器/驱动器级别的命令/响应信号。 |
Static job scheduling 静态作业调度 | 每个产品/配方组合的计划和执行时间,以及当前计划的信息。 |
Real-time job dispatching 实时作业分配 | 预估当前作业完成时间;预估设备上所有排队等待的物料的完成时间。 |
Factory cycle time optimization 工厂周期优化 | 物料缓存内容,作业队列信息 |
Operator notification 操作员通知 | 非自动化/半自动化环境下一些操作员频繁操作的通知代码,比如加载/卸载物料, 选择/确定配方,一旦设备卡住提供的一些手动协助等等。 |
Real-time dashboard 实时仪表盘 | 设备/部件生产状态指标 |
Equipment failure analysis 设备失败分析 | 有意义的报警/错误代码,或者最近的历史记录/数据 |
Run-to-run process control 批次工艺控制 | 配方可调整参数识别以及远程更新这些参数的命令。 |
在某种程度上,在上面的表中描述的应用程序数据可以跨设备类型进行标准化,这样的话就有可能创建通用的工厂的应用程序, 只需要一个从供方定义的GEM ID (收集事件id、状态/数据变量,常量,设备等)到通用应用方的对应列表。但是这是另一个关于GEM上下文中“即插即用”概念的主题。
我们希望这个解释能够帮助您理解设备信息对于使用它的工厂是多么有价值,从而明白在您将来设计的GEM接口中提供一组丰富的事件、变量和其他详细信息是多么重要。