大家好,今天给大家分享一下半导体行业通讯的通讯协议SECS/GEM,我们今天主要讲解SECS/GEM通讯的概念,通讯流程,那我们开始吧。
概念
什么是SECS/GEM通讯协议?打开电脑,问一下度娘,度娘给出的解释:
Semiconductor Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model(半导体通用设备通信标准/通用设备模型)是半导体制造设备之间进行通信的标准协议。它定义了一套标准消息格式和通信规则,以便设备能够有效地与制造执行系统(MES)或工厂自动化系统进行通信和数据交换。
主要用于半导体制造设备,如晶圆加工机、封装机、测试设备等。这些设备需要通过SECS/GEM协议与工厂自动化系统进行数据交换和控制。
在高度自动化的半导体制造厂中,CIM(Computer Integrated Manufacturing【计算机整合制造】) 统一管理各设备的生产流程,并随时监控设备过程的状态,以减少过程失误进而降低成本及提升产品的质量。但随着过程的不同,各设备有着不同特性的差异且各制造商所提供的设备也不尽相同,因此增加CIM自动化管理的困难与复杂程度。软件集成自动化存在的主要问题是在不同的设备供应商之间没有标准的通讯协议。设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件,这使得半导体生产商不得不建立他们自己的软件“连接”,导致了项目费用的巨大增加。
SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)的会员一起构建的连接性标准。应用于在设备和工厂管理系统间的通讯标准。是半导体的设备接口协议,用于设备到主机的数据通讯。经过引入SECS/GEM,制造可以搜集更多的信息,SECS/GEM使设备和主机中心可以畅通无阻地停止通讯,从而完成智能工厂自动化。
Ok,大家看完之后,应该就能有点了解,大家只要知道它是一个通讯协议即可。
通讯流程
仿真环境:SEComSimulator -需要.NET Framework 3.5
这边讲解TCP/IP的。使用Socket。
通讯流程:
大家可以发现,其实和FINS TCP通讯过程很类似。
这边给大家利用两台仿真器(一台作为host,一台作为EQ端)连接测试和报文,可以看到通讯已经成功。
报文格式
消息报文主体结构:报文格式为:数据长度(4个字节)+数据头(10个字节)+数据(MessText)
数据长度,举个例子(00 00 00 0A代表后续还有10个字节)
Header结构

Message Text:
第一个字节的前六位代表数据类型,后两位代表后面有几个字节代表数据长度(最多为3),长度之后为Message主体(当然会涉及到嵌套,如果嵌套和之前一样)。其中的数据类型如下图:

SECS/GEM的指令
C#和仿真器的编程
C#对接仿真器的程序我给在附件里,大家需要的可以去下载,报文格式就是按照上面的要求写的,对于socket和通讯协议有基础的应该都能看的明白,这边不给大家一一讲解了,指令太多了,相信大家都能举一反三,触类旁通。
https://download.csdn.net/download/dy186187/89832366
补充
仿真软件资料:
通过百度网盘分享的文件:SEComSimulator Ver4.0
链接:https://pan.baidu.com/s/1nsTvx_S_wp9k9ldoMX1BkQ
提取码:1897
好了,今天就分享到这,拜拜~~~