聚焦离子束与扫描电镜的基本原理大致相同,但FIB更多的是被用作直接加工微纳米结构的工具。在进行FIB实验过程中,因其本身的特征实验最终效果会有误差,在FIB测试时有以下缺陷:
1.倾斜侧壁
FIB测试中因材料及其晶体取向不同,截面大多会有1.5~4°的锥度。
改善:如果希望获得与试样表面完全相等的直径,通常采取使试样人为偏斜一定的方式,来补偿截面和离子束入射角度间的误差。(也可以采用侧向入射的方法来进行,利用定义刻蚀图案去调节截面和表面之间的夹角,灵活地加工出形状更加复杂的三维微纳米结构。)
2.窗帘结构
聚焦于离子束的样品截面中,还有一项必须注意的特殊情况就是截面的平整度,有时还会在断面上产生竖直线条,被称之为窗帘结构。窗帘结构的产生主要和聚焦离子束切割固有的倾斜侧壁有关,