1. MEMS传感器的类别:
MEMS 传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高, 适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。MEMS 传感器和IC芯片最大的区别在于:MEMS 是可动结构,利用微纳加工技术同时加工出机械结构和电路系统。如图1中所示,是目前市场中常见的一些MEMS传感器,并且随着MEMS传感器的不断发展,还出现了许多从前没有的MEMS传感器,如流体黏度传感器,密度传感器等等。
图1 MEMS传感器的分类[1]
2.MEMS传感器的市场规模与发展
自2015年开始MEMS传感器市场规模稳步提升[2],产品需求大幅增加,在物联网的发展和智能终端领域也得到广泛应用,传感器产品需求大幅增加,重心逐渐转向技术含量较高的MEMS传感器领域。在 MEMS 传感器应用前景良好和国产化进程提速背景下,未来我国 MEMS 传感器市场前景广阔。前瞻产业研究院结合之前的发展数据预测,未来几年我国MEMS传感器市场规模年均增速保持在15%左右,预测到2025 年我国 MEMS 传感器市场将达到 1488.6 亿元[3]。