非球面测量中全息误差的处理

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计算全息是一种快速测量非球面的方法。但要注意尽量减少测量误差。

在许多光学系统中，非球面透镜因其高光学性能、轻量化和紧凑的外形尺寸而优于传统的球面透镜。然而，测量非球面并不是一个简单的过程。计量选项通常基于干涉测量或轮廓测量（图1）。为了用干涉法测量非球面，参考波前必须与标称非球面形状相匹配。计算全息（CGH）非球面零点通过将非球面的波前转换成球面波前并叠加在干涉仪的参考波上来实现。

图1 典型的非球面测量包括拼接干涉测量法（a），计算机生成的全息图（b），机械接触轮廓测量法（c）和光学非接触轮廓测量法（d）

什么是CGH？
CGHs是一种刻蚀有精确波前控制图案的衬底。其基本机制是基于衍射理论，即通过光阑的波根据周期图案的密度而偏转。CGH图案的参数化设计使得通过全息图的光垂直照射被测表面（图2）。每一个全息图的设计都是非球面所独有的。

图2 用计算机全息图（CGH）进行非球面干涉测量的典型装置。TS：传输球；WD：工作距离。

全息图测量的准确性和有效性受到基材设计，制造和对准所产生的误差的影响。 用户无法消除设计或制造过程中出现的误差（如有）；但是，它们可以纠正因未对准而引起的小误差。

测量步骤
测量过程从在制造商或设计者指定的位置处安装CGH开始，该位置在传输球和球的焦点之间的某个位置。全息图的位置将需要稍作调整，以消除对准干涉图中的任何倾斜和干扰条纹。

全息图对准完成后，将透镜移至光线垂直于测试表面的位置。CGH制造商或设计师也提供此位置（工作距离）。一旦以正确的工作距离定位，测试表面将需要稍作调整，以实现具有最小空间像差的干涉图。测试表面的对准是全息图测量中最具挑战性的步骤之一。很难将对准误差与测试表面上的实际残留误差区分开。横向未对准通常会导致倾斜，彗差和三叶草像差，而纵向未对准会导致光焦度和球差。

CGH制造商通常会提供由理想镜片未对准引起的Zernike误差的估计值。但是，通常认为未对准窗口很小（10-1mm），并且不提供与高阶Zernike误差有关的信息。

通过将主要的对准误差（或彗差）保持在最小程度，可以减少横向错位。彗差是非旋转对称误差，通常由偏心镜片引起，不太可能在表面上显示为显着的残留误差。因此，彗差是评价横向对准的良好准则。

主要的纵向对准误差是光焦度和球差。使测试表面散焦可以减少残留光焦度和球差。但是，这意味着测量不再在工作距离处进行。

纵向未对准
具有高屈光力公差的镜头会在其测试表面上产生明显的屈光力误差。这意味着在工作距离上进行测量可能会导致高密度条纹，而干涉仪无法解决这些问题（图3）。相反，散焦会去除高密度的条纹（图4），但会导致纵向未对准，从而导致测试表面的球面像差不准确。

图3 干涉仪无法分辨高密度条纹，并在测量结果中产生伪影。直接从干涉仪（a）测量的干涉图。生成的表面结果图（b）。

图4 离焦消除高密度条纹，以创建一个可分辨的图像。直接从干涉仪（a）测得的干涉图。生成的曲面贴图（b）。

图5说明了在纵向未对准的工作距离处测量非球面实验。请注意，纵向未对准会导致明显的三阶球差（SA3），并且其大小会随着纵向未对准的增加而增强。数据凭经验表明该关系是线性的，并且不管非球面处方如何，这都是正确的。

图5 从工作距离的不同位置产生三阶球面像差（SA3）。

图6中的数据来自光学设计软件（ZEMAX），该软件用于对各种非球面表面的纵向未对准引起的误差传播进行建模。结果非常接近测得的球差。请注意，每个唯一的非球面的梯度都不同。

图6 比较传播（实线）和测量（虚线）三阶球差的软件模型。
使用以下等式描述该线性：
SA3Measured= αz + SA3Actual
其中z为与工作距离的偏移量（µm）；α为非球面偏离系数（nm/µm）。
系数α(梯度)与非球面偏离最佳拟合球面有关(图7)。当非球面偏离最佳拟合球面以上时，系数α为正，当非球面偏离最佳拟合球面以下时，系数α为负。系数α的大小随着非球面偏离其最佳拟合球面的增大而增强(图8)。

图7 非球面偏离其最佳拟合球面（BFS）的插图。AD：非球面偏离量。

图8各透镜系数α的比较。

然而，没有确定的方法将非球面的系数α与其偏离最佳拟合球体的非球面相关联。非球面的设计主要是为了减少透镜系统的球差4（图9）。增加非球面偏离可以达到这种效果；但是，每个透镜系统的初始球差是不同的，因此需要不同程度的像差补偿。换言之，对于小的最佳拟合球体，非球面偏离100µm对减小球差的效果与较大的最佳拟合球体的效果不同。

图9 非球面透镜制造的步骤。
球差
在制造过程中，为了防止引起的三阶球面像差（由于在偏移处测量）或高密度条纹（由于在工作距离处测量），制造商在通过CGH在工作距离处测量之前，进行半径校正以确保测试表面具有低光焦度。然而，如果可以通过设计软件或通过经验测量试验表面来确定由纵向失准引起的诱导三阶球面像差的量，则该步骤是不必要的（图10）。两种方法都建立了相应非球面的三阶球面像差和纵向失准之间的线性关系。图11所示为距工作距离0.4mm处透镜的测量。测量补偿了由偏移引起的三阶球面像差。补偿地图的结果与工作距离的实际测量结果相当。

图10。纵向失准引起的球差量可以用两种方法中的一种来确定：设计软件法或经验测量法。

图11。误差补偿透镜表面的测量比较，显示与理想非球面（高度）的偏差。补偿测量在0.4mm偏移（α）加上实际SA3（红色）的因数。WD（绿色）处的测量。在0.4mm偏移处测量，不考虑实际SA3（黄色）。

CGH干涉测量是一种快速、准确的大批量非球面透镜生产计量技术。虽然透镜制造商可以通过确保测量过程中的精确对准来最大限度地减少误差的影响，但在设计、制造和对准过程中可能会出现误差——最好不要引入可能影响效率的额外步骤。

纵向失准可导致显著的三阶球面像差，表现为线性关系，可通过设计软件或通过经验测量试验表面进行关联。通过补偿纵向失准非球面上的误差，可以实现理想的对准。

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