非接触式光学检测原理介绍

        光学测量分为接触式和非接触式，接触式测量，由于要接触物体被测表面，所以对于物体表面有要求的就不适用，并且测量精度会受表面粗糙度的影响导致测量仪器有磨损且测量不准确。所以非接触式测量得到极大的发展，非接触式测量主要原理是光学的方法，测量精度能达到纳米级别。

        非接触式测量原理主要是通过迈克尔逊干涉仪和格林干涉仪两种。主要是利用同频率同相位的参考光和测量光相互干涉得到干涉条纹，参考光由干涉仪发出经分光片后照射到标准量具表面返回，测量光由干涉仪发出经分光镜后照射到待检测物体表面后返回干涉仪，两束光在干涉仪内部发生干涉形成干涉条纹，根据干涉条纹经过解析计算得到表面粗糙度和待测量表面精度。利用干涉仪进行测试的方法虽然精度高，但是测量设备复杂，需要复杂且笨重的光学仪器，复杂的光路设计，使用成本高，操作复杂，需要标准测量器具并且可测量物体表面形式单一。

         另外一种非接触式测量方法是利用液晶空间光调制解调器LSM，代替参考光光路，加载相位型全息图其可以由计算机生成任意光学表面不需要标准测量器具，理论上精度取决于lsm制造工艺和光路误差能达到纳米级别，当干涉仪发出的参考光照射到lsm表面经过调制（调制过程可以改变光的相位分布和角度）后反射回干涉仪与由待检测物体表面返回到干涉仪内部的测量光相干涉后形成干涉条纹转换为数字信号后通过电脑保存下来，可以对干涉条纹进行分析，包括相位解包裹，借助现成的分析软件可以计算待检测表面的粗糙度。

        液晶空间光调制器lsm的光路主要是由干涉仪发出的光依次经过偏振片，激光扩束器和激光准直器后到达lsm表面，lsm表面加载的位相型全息图只改变光的相位不改变光的强度，而一束光波前的表面形状由其相位决定，因此可以通过加载不同的位相型全息图而得到不同的参考光波前，不同位相型全息图的制作只需要通过计算机完成，从而完成对待测表面的检测，lsm非常适合于测量非球面等不规则表面。