EAP系统通常是CIMS(Computer Integrated Manufacturing System)系统的一个重要子系统。CIMS是一种以计算机技术为基础的、集成化的制造自动化系统,由多个子系统组成。除了EAP系统,还包括MES(Manufacturing Execution System)、RMS(Resource Management System)、APC(Advanced Process Control)、FDC(Fault Detection and Classification)等子系统。
图.格创东智半导体行业解决方案架构
EAP系统作为CIMS系统的设备控制层,主要负责与生产设备进行通信和控制。通过EAP系统,其他子系统可以实现对设备运行状态的实时监控和控制,同时也能够获取设备产生的实时数据,对生产过程进行优化和调整。
与其他CIMS子系统的数据传输通常通过标准化的协议进行,如SECS(SEMI Equipment Communications Standard)、GEM(Generic Equipment Model)、OPC(OLE for Process Control)等。这些协议可以实现不同子系统之间的互联互通,实现数据的无缝传输和共享,从而提高整个制造过