单晶硅车间用的纯水抛光树脂MB-115/MB-106

 化学意义上纯水(液态的H2O)的理论电导率为18.3ΜΩ·cm。人们生产的纯水是达不道理论值的,但18ΜΩ·cm似乎是可以达到的,对于这种水,有的称为高纯水有的称为超纯水。现在制备超纯水的方法是将各种纯化水的新技术科学地结合起来,不仅能生产超纯水,而且变得非常容易。

一、产品介绍

MB-106UP为阶核子级抛光树脂, 是由核子级强酸型阳离子T-46Li 及核子级强碱型阴离子 A-33OH 以1:2 体积比的剂量比例 , 预先混合的混床级离子交换树脂,专门提供给超纯水系统抛光用,具有的交换容量及优越的物理特性。适合用于电子产业 ,生产半导体及映像管产业,实验室,激光,精仪器,医用行业等需要超纯水的行业,以及核电厂等使用。在全球有数十家 核电厂使用我们的抛光树脂。

二、重要参数

1、具有交换容量及优越的物理特性

2、在全球有数十家 核电厂使用我们的抛光树脂

3、MB-106UP为阶核子级抛光树脂, 是由核子级强酸型阳离子组成

四、使用场景

适合用于电子产业 ,生产半导体及映像管产业,实验室,激光,精仪器,医用行业等需要超纯水的行业,核电厂等使用,专门提供给超纯水系统抛光用。

新兴的光电材料生产、加工、清洗,LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

抛光树脂是由高度纯化、转型的H型阳树脂和OH型阴树脂混合而成,如果装填和操作得当,在初的周期中即可制备出电阻率大于18.0MΩ·cm和TOC小于10ppb的超纯水,无需化学再生。

树脂开封后长时间暴露在空气中会吸收二氧化碳,从而影响产品的性能及使用。因此一旦拆包需尽快使用。不使用部分须小心密封,存放于避光阴凉处,环境温度以5-40℃为宜。

在运输、储存和装填过程中,任何无机或有机物质的接触都会使树脂受到污染,从而降低出水水质;影响运行工况。因此必须保证所有用于装填、操作的设备和水不会污染树脂。所有与树脂接触的水都必须使用高纯水(所涉及到的水均指“高纯水”,即电阻率大于等于10MΩ·cm,同时TOC尽可能低于30ppb的水),所有接触树脂的设备或器具都要在使用前经过高纯水清洗。

如为换装树脂,设备中原有的旧树脂必须从树脂容器中移去,树脂容器内部清洁无杂质。

安装程序

向树脂罐中加水使液位高度在200-300mm或没过底部布水管,以防止装填树脂过程中底部排水装置受到冲击。但如果设备尺寸较小而拟采用树脂以浆水混合的方式填装也可不必事先加水。

将树脂装入树脂罐,可以直接将树脂从原包装袋中加入或在原包装容器中加入一些水成浆状装入树脂容器。装填过程中注意以下事项:

(1)禁止用任何机械泵转移树脂,许多类型的泵都会对树脂造成损害或带来一些污染;

(2)树脂装填过程中,不要同时打开两袋以上的树脂。以大限度减少树脂接触空气的时间,也使外来杂质污染树脂的可能性降到低;

(3)装填过程中随着装填料位的增加,树脂层面以上的水也会逐渐增加,如果水位高度高于树脂层面300mm以上,必须将多余的水抽出或排掉,以避免树脂在水中缓慢沉降而出现分层。但同时也需避免出现液位放干的情况,这会使空气在树脂层中形成气栓而影响出水。一旦出现树脂分层或形成气栓的情况影响出水,可采用清洁的压缩氮气自罐底通入,使树脂充分混合后即可再次通水使用;

(4)当使用FRP桶作为树脂罐时,应先将集水管留置于桶中再装填树脂(装填过程中集水管上口适当封堵以免混入树脂),在装填树脂过程中应适时的调整集水管的位置以使后能正常安装上盖。同时采用FRP桶作为树脂罐时,如感觉上口口径较小不好装填时,可以使用漏斗式容器辅助装填。

(5)应对树脂罐所使用的橡胶密封圈及集水器等零部件做好检查,如有破损必须更换。如集水器出现裂隙堵塞或串片松动,应做排除。树脂装填到位后,注入高纯水使罐内充满。后封装上盖,并将管线连接到位。

树脂装填完成后,应浸泡在水中少4小时,如条件允许,好浸泡过夜。

后检查各部件及管线连接无误后,即可开启阀门采水。新装填的树脂在投运初期有一个冲洗过程,此阶段出水电阻率将逐步升高。视现场情况的不同,冲洗时间可能持续几十分钟到几个小时。

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