垂直腔面发射激光器（VCSEL）

最新推荐文章于 2024-11-08 16:29:45 发布

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文章标签：信息与通信

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垂直腔面发射激光器（VCSEL）是数据中心和高性能计算机 (HPC) 中基于多模光纤 (MMF) 的光链路的主要光源。

我们现在称之为 VCSEL 的设备，使用半导体分布式布拉格反射器 (DBR) 作为镜子的开创性想法，通过将光学腔内的增益区域与两个高反射 DBR 组合以形成垂直谐振器来构建的。光则是沿着垂直于晶圆的外延生长方向输出。如下图所示：

其中，增益区域主要是一组一个或多个 QW 或量子点片，它们聚集在一起并位于垂直谐振器谐振时驻波的中心波腹处，以提供有效的光学放大。DBR由高低折射率材料的交替层组成，其中每层的光学厚度为四分之一波长。DBR反射镜的功率反射率在谐振设计波长处为 0.99 或更大。顶部和底部金属触点将电流注入中央有源增益区。

VCSEL 器件有两种基本结构，一种是顶发射结构：采用 MOCVD 技术在n 型GaAs 衬底上生长而成，以 DBR 作为激光腔镜，量子阱有源区夹在 n-DBR 和 p-DBR 之间。另一种是底发射结构，一般用于产生 980 至 1100 nm 波段，通常将衬底减薄到150μm 以下以减少衬底吸收损耗，再生长一层增透膜以提高激光光束质量，最后将增益芯片安装在热沉上。