SECS/GEM入门设计介绍

SECS-GEM是在MES/EAP和工厂机器设备之间的语言

SECS（SEMI设备通信标准）/GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和晶圆厂主机之间通信的通信接口协议。Fab host 是一个软件应用程序，它使用 SECS/GEM 协议控制和监视设备处理。符合 SECS/GEM 标准的设备可以使用 TCP/IP（使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 – HSMS）或 RS-232（使用 SEMI 标准 E4 – SECS-I）与晶圆厂主机进行通信。

主要半导体协议有哪些

SECS/GEM：E4、E5、E30、E37等

GEM300:E4、E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94、E116等

PLC如何支持SECS，SECS的消息SxFy跟PLC的关系是怎么映射呢，如下图