前言
最近需要进行半导体行业机台的设计,初次接手,是比较困惑的,只是知道半导体机台设计有许多限制性的因素,包括设备洁净度等等要求,但是,具体相关的细节要求是比较困惑的。因此,想计划整理出一个设计规范出来,用于指导自己的设计。
然而,在网上百度了下,这方面的中文分享资料非常少,于是,就开启了英文搜索模式,搜到了一本很好的书籍,就是《Robotics for electronics Manufacturing-Principles and applications in cleanroom automation》,于是,计划后续时间内陆陆续续把它翻译出来,做做总结。
计划安排
计划可能随时被打破,因为平常也有工作的事情,但是,自己尽量抽时间去做这件事,至于翻译的顺序的话,是随机的,跟我相关的内容我会先翻译。
本书目录
1.Industrial robotics
2.Cleanroom robotics
3.Design of atmospheric robots
4.Design of vacuum robots
5.Kinematics
6.Dynamics and control
7.Test and characterization