FA系列-ProcessJob与Control Job的理解

bengg123

已于 2022-07-18 10:21:07 修改

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分类专栏： SEMI FA 文章标签：经验分享

于 2022-07-17 22:21:02 首次发布

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在开发FA的工作中，需要用到ProcessJob和Control Job的概念，通过查阅SEMI标准，并参考SEMI E40-0703和SEMI E94-0702 ，对两者有了初步认识。

ProcessJob（简称PJ）

Process Job — The process job is a dynamic object specified by the process supervisor (service-user) to effect material processing by the processing resource. The high-level job contains all the information required by the processing resource to achieve processing of the material, once it arrives, without further intervention by the supervisor.

从Process Job的定义来看，Process job可以理解为指定Wafer在机台上进行需要做的任务。需要强调的是一个PJ是可以包含若干个Wafer的Job的，这些Wafer既可以在同一Carrier中，又可以在不同的Carrier中，换句话说PJ是针对所有具有相同工艺流程的Wafer的job。

Control Job (简称CJ)

control job — defines a unit of work on equipment for one or more carriers. The work is described by a set of one or more process jobs to be applied to the material contained in the carriers.

从CJ的定义中可以看到，它是不负责去协调Wafer和工艺模块的流转流程的，只是描述了一组包含一个或多个的PJ的任务，这样可以减少Host与设备之间的交互。为满足制造过程中的复杂需求，CJ扮演着Host与设备之间协调员的角色。但具体业务还是通过PJ来控制的。需要注意的是PJ的POOLED并不是有CJ来控制的，而是通过外部输入的，例如EAP系统，CJ是可以指定PJ运行的顺序的。

总结：PJ是按外部(如EAP)的设定，协调Wafer在工艺模块间流转，是设备具体业务的体现。而CJ扮演的角色是协调Host与设备端的，它聚焦于总生产计划的控制，并不关注具体业务。非常重要的一点，一个PJ中关联的Wafer可以在同一个Carrier内，也可以在不同的Carrier内，同样的一个Carrier中可以包含一个或多个PJ。同样的一个CJ中关联的PJ可以在同一个Carrier内，也可以在不同的Carrier内，而且一个Carrier可以包含一个或多个CJ。下图较好的表达了两者之间的关系，但是谁能告诉那个三叉戟表示啥关系？