SEREN射频电源维修R601射频匹配器维修R600

射频电源维修注意事项:

在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、IGBT管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等);

对于机器工作不稳定或工作时好时坏,可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动(在运输中有可能会出现)、接线端氧化等,老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘(可用仪器吹掉);如箱内积有很多油污且使用期很长,不可修应报废处理。

在维修时,对于客户要求维修的电源,不能私自拆掉内部扎带、控制板剪掉接线或到处乱接乱改,有可能会造成对整机干扰或性能下降,如退回时,老电源因规范的问题,很多都没有接线图,可能会给维修带来很大难度。

美国SEREN电源维修(SEREN射频匹配器)包括:

R系列射频电源:R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13,R600

HR系列射频电源:HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001

L系列低频电源:L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源

用于ICP领域AT系列自动匹配器:AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

退回的电源或主控板应做好表面防震保护,防止面板划伤、变形,退回的电源或主控板应贴有标签,注明电源现场详细故障、办事处名等,便于维修员的分析与维修,有时会出现在整机上测试和单独测试故障现象不致。我们维修人员会根据示签做相关维修记录,做好激光电源维修备案。

曾多次维修,到客户那仍不能使用的,应在现场检查整机接线及其它易损易坏部件。检查引起故障原因所在。并做好现场检测记录随机退回.

换一个新光纤后试机,输出功率小幅上升,但还是达不到使用要求,可以判断原来修机器后盖及光学模块上盖,可以看到位于主光闸以外用的光纤已经轻微损坏,但并不是故障的主要原因。打开机器后盖及光学模块上盖,可以看到位于主光闸以外,光纤耦合器以里的透镜。

随着射频技术进入镀膜工艺之后,射频匹配也随之成为需要解决的问题。射频电源的功率应尽可能的用于镀膜工艺中,系统的输入功率直接影响到等离子体的浓度和压力,也就直接影响了镀膜的质量,关系到工艺水平的好坏。在一定条件下,镀膜系统负载是随时间发生变化的,这使得阻抗的自动匹配变得更为必要。而国内现在都是以手动匹配为主,射频电源自动阻抗匹配的发展是一个瓶颈。因此,自动匹配技术的研究有很重要的意义。   本文以真空实验室的射频RF-500型射频等离子体增强CVD镀膜机相配套的射频电源阻抗匹配RS-500为研究对象,对射频电源的手动阻抗匹配的原理和设计进行研究,并把传入电表的信号传入计算机中进行自动控制,实现自动匹配。本文以功率检测模块的详尽设计和对系统建立的数学模型进行控制仿真为重点研究内容,结合功能较为完善、技术相对成熟的其他模块如传动模块、信号转换模块等的分析研究,提出了射频电源自动阻抗匹配较为完善的设计方法,在总体结构设计原理上有一个相对完整的认识。   本文电路的设计是基于匹配原理的,即随着镀膜过程中等离子体阻抗的变化,通过阻抗匹配来实现整体传输电路的共辆阻抗匹配,使得入射功率始终达到最大,反射功率达到最小,以保证镀膜的质量。等离子体的变化,可以等视为电路中的一个阻抗,匹配通过调节自身模块中的两个可变电容,来实现整个传输电路的共扼匹配。确定共扼匹配的方法是通过检测入射功率和反射功率,使得入射功率达到最大,反射功率达到最小为宜。功率可由电流、电压和两者之间的相位来表征,即P=U*I‘cose。在功率检测模块,测量电流的电流互感选用性能优于传统线圈的Rogowski线圈,测量电压的电压互感选用电容式电压互感,由于两者的相位在镀膜过程中固定,因此两者的相位角不变,不用测量。由电流互感和电压互感组成的定向耦合装置,是功率检测模块的核心部分。本文着重分析了功率检测模块的电路,提出了合理的设计方案。然后通过对其他各个模块的分析,得出可行性的设计方案。最后对传输电路进行数学模型的建立,并用MATLAB对信号进行PID控制仿真,得出了有效的控制方法。
评论
添加红包

请填写红包祝福语或标题

红包个数最小为10个

红包金额最低5元

当前余额3.43前往充值 >
需支付:10.00
成就一亿技术人!
领取后你会自动成为博主和红包主的粉丝 规则
hope_wisdom
发出的红包

打赏作者

天浦正达维修朱工

你的鼓励将是我创作的最大动力

¥1 ¥2 ¥4 ¥6 ¥10 ¥20
扫码支付:¥1
获取中
扫码支付

您的余额不足,请更换扫码支付或充值

打赏作者

实付
使用余额支付
点击重新获取
扫码支付
钱包余额 0

抵扣说明:

1.余额是钱包充值的虚拟货币,按照1:1的比例进行支付金额的抵扣。
2.余额无法直接购买下载,可以购买VIP、付费专栏及课程。

余额充值