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MEMS系统稳定性分析

从MEMS系统的组成,工作原理,与控制方法出发。因MEMS系统难以采用线性分析方法,因此当前科研界主流的观点是把MEMS控制系统归为非线性系统,在MEMS系统的研究与控制应用过程中,有必要判断系统是否稳定,本栏目主要分享分岔图、庞加莱截面、相图以及李雅普诺夫指数判稳分析方法。
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作者: Chong-yang

浮生此时闲,闲的时候喜欢做笔记备份,也当作分享。
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