超纯水广泛应用于工业制造、机组循环冷却、食品医疗、实验室用水中。电阻率、细菌含量、微粒子、气体分子(溶解氧、溶解氮)和TOC都是超纯水的重要指标,根据不同行业的需求,具体的水质指标要求也不相同。超纯水品系产品主要包含电子级和核级的超纯水,要求电导在18MQ以上,TOC<1-5ppb,甚至更低到ppt级,比食品级和医用级超纯水等级更高。
在电子元器件的生产过程中,无论是清洗用水,还是溶液、浆料都需要用到超纯水。超纯水的纯度直接影响电子元器件的产品质量及生产成品率。随着半导体技术的发展、元器件尺寸的缩小及精细程度的提高,对超纯水的水质要求日趋严格。
2016-2022年我国液晶面板领域超纯水需求量测算
注:液晶面板按照每平方米5方超纯水计算;芯片领域按照11万方/亿块计算。
资料来源:共研产业咨询(共研网)
电子级超纯水要求极高的电阻率(>18.2MΩ·cm)和极低的总有机碳(TOC<5µg/L,以C计,下同),制备难度大、成本高、技术壁垒多。中国国产材料设备和技术工艺被国外企业垄断、水质检测能力和平台匮乏、超纯水标准体系落后等问题十分突出。一是,关键材料和技术设备被日、韩、欧、美等国家和地区垄断。二是,中国电子级超纯水制备的研发基础薄弱,终端在线监测仪表、痕量污染物分离富集和离线检测平台匮乏,水质检