读论文《Control of electron dynamics, radical and metastable genetation in μAPPJ by VWT》PSST 2019

引言

介绍了如下内容：

1、微大气压下射流放电的应用：消毒、医疗、气体处理、表面处理、半导体工艺。优势：高活性组分密度，且气体温度接近室温。

2、关键问题：如何高效有选择性的产生所需活性物质。解决办法是通过调控电子能量分布函数来优化产物。

3、仿真原因：由于射流装置过小，分布函数通常无法测量时空分辨，所以借助模拟手段来实现。

4、两种电子功率吸收方式（Ω和Penning模式）：在Ω模式下，电子与气体分子或原子碰撞后，将能量转移给气体分子或原子的振动和旋转模式，而不是直接将其电离或激发到高能态。在这种情况下，电子吸收的功率可以是正值。在Penning模式下，电子与气体分子或原子碰撞后，电子的能量被转移给气体分子或原子，并使其激发到高能态，从而导致电离和辐射。在这种情况下，电子吸收的功率始终为负值。

5、通过改变驱动电压幅值和气体掺合物浓度，观察到μ-APPJs在单频中放电中发生了从Ω-模式到penning模式。

6、在低压CCP中，电压波形裁剪（VWT）已经完成验证在纳秒时间尺度上定制波形调控电子功率吸收，进而调控电子能量分布来优化反应产物。方法：通过在基波电压上叠加不同次数谐波的幅值和相位来实现电压波形裁剪，裁剪出来的波形分为三种：波峰、波谷和锯齿波。

7、在大气压射流He和Ar（5%）放电中，也有研究者证明了VWT可以造成电子能量吸收功率的时空不对称，但是这个研究在谐波次数上有限制，在频率为13.56MHz上只有1次谐波和4次谐波。 锯齿波造成放电时不对称，峰谷波造成放电的时空不对称。在时空上电子能量吸收功率的监督可以调控EEDF。

8、研究目标：调节不同次谐波的幅值和相位来调控EEDF，进而优化放电产物浓度。

9、具体研究内容：在微大气压射频射流He和N2放电中，通过实验和仿真验证VWT可以定制时空上的电子碰撞反应动力学和EEDF，进一步解释了解释了直流自偏置产生背后的物理机制，并证明了VWT允许通过调节连续谐波次数和反应气体混合物的浓度来优化和控制原子氮和氦亚稳态的产生。（波形是基于峰波和一个固定的峰峰值400V来调节谐波的）

实验与仿真模型

实验连接简图如下图所示，一个通有He（1slm）和N2（1-10sccm）的COST射流模型（1mm间隙30mm长的不锈钢电极板通过石英板夹住）通过射频电源驱动，为了避免有压力梯度（实验气压是微大气压）控制质量流量控制器前端的压力是1.1Bar。电压波形通过信号发生器（Keysight 33600A）产生，电压信号通过功率放大器（500A250A，0.01-250MHz，500W）后作用于激励端。诊断设备有高压探头、发射光谱和ICCD。

峰值电压波形通过不同次数谐波叠加而来，且确保每次波形的峰峰值都是400V，公式如下：



叠加后的波形图如下：

谷型电压波形是通过改变所有谐波的相位从0到π得到的，波形如下图：

结果

直流偏置

通过VWT作为驱动频率数的函数调控EEPF

通过VWT作为反应气体掺量的函数调控EEPF

通过VWT控制氮原子和氦亚稳态产生

总结

个人总结