当国产氮化硅基板邂逅碳化硅功率模块,中国新能源汽车开启性能狂飙模式
一、第3代半导体材料——碳化硅SiC性能优势明显
碳化硅SiC是第3代宽禁带半导体代表材料,具有热导率高、击穿电场高、电子饱和速率高、抗辐射能力强等优势,采用碳化硅SiC制材料制备的第3代半导体器件不仅能在较高温度下稳定运行,还能以较少的电能消耗,获得更高效的运行能力。
相比于首代Si硅基半导体,第3代宽禁带半导体碳化硅SiC具有2倍的极限工作温度、10倍的击穿电场强度、3倍的禁带、超过2倍的饱和电子漂移速率、3倍的热导率即3倍的冷却能力。
▲ 1-3各代半导体材料性能对比
碳化硅SiC作为第3代半导体材料性能稳定高效,广泛应用于电动汽车、充电设备、便携式电源、储能设备、通信设备、机械臂、飞行器、太阳能光伏发电、风力发电、高铁等等众多高电压和高频率工业领域。受益于5G通信、国防、新能源汽车、新能源光伏和风力发电等领域的高速发展,碳化硅二极管、碳化硅MOSFET、碳化硅功率芯片、SiC碳化硅功率模块等碳化硅功率器件市场规模急速膨胀。
▲当氮化硅基板邂逅碳化硅功率模块,国产第3代半导体材料助力我国新兴工业高速发展
二、AMB工艺氮化硅基板是第3代半导体材料碳化硅功率模块器件封装理想之选
目前,半导体电子器件行业广泛应用的陶瓷基板,通常按照基板材料划分主要有Al2O3氧化铝陶瓷基板、AlN氮化铝陶瓷基板和Si3N4氮化硅陶瓷基板三种。
氧化铝陶瓷基板优劣势。氧化铝基板最常见,通常采用DBC工艺,氧化铝基板低介电损耗、化学稳定性优良、机械强度较高,其制造工艺成熟、且成本低廉,主要在中低端工业应用领域有较大的市场需求。但是氧化铝基板导热性差,骤冷骤热循环次数仅仅200余次,无法满足日益发展的新能源电动汽车等第3代大功率半导体的应用发展需求。
氮化铝陶瓷基板优劣势。氮化铝基板导热率较高,具有优良的绝缘性,DBC和AMB两种工艺均有采用,氮化铝基板的导热性能好,且与第3代大功率半导体材料有很好的匹配性,但是氮化铝基板机械性能和抗热震性能差,不仅影响半导体器件可靠性,而且氮化铝基板属于高强度的硬脆材料,在复杂服役环境下,容易损坏,使用成本较高。