1.某微系统的原理性结构设计如图所示，试画出 其广义等效电路图，并通过对广义等效电路的分析，给出位移x1与作用力F的传递函数关系。
等效电路图
因为F产生的位移由m1及之前和m2及k2共同分担，因此两部分应为并联。
接下来计算传递函数,两个弹簧的位移分别位x1和x2
F
=
(
x
1
+
x
2
)
m
2
s
2
+
s
x
2
k
2
s
F = (x_1 + x_2)m_2s^2 +sx_2\frac{k_2}{s}
F=(x1+x2)m2s2+sx2sk2
s
x
1
(
k
1
s
+
s
m
1
+
b
)
=
s
x
2
k
2
s
sx_1(\frac{k_1}{s}+sm_1+b) = sx_2\frac{k_2}{s}
sx1(sk1+sm1+b)=sx2sk2
x
2
=
x
1
(
k
1
s
+
s
m
1
+
b
)
s
/
k
2
=
x
1
(
k
1
s
+
s
m
1
+
b
)
s
/
k
2
=
x
1
k
2
(
k
1
+
m
1
s
2
+
b
s
)
x_2 = x_1(\frac{k_1}{s}+sm_1+b)s/k_2 = x_1(\frac{k_1}{s}+sm_1+b)s/k_2 = \frac{x_1}{k_2}(k_1+m_1s^2+bs)
x2=x1(sk1+sm1+b)s/k2=x1(sk1+sm1+b)s/k2=k2x1(k1+m1s2+bs)
F = m 1 m 2 s 4 + m 2 b s 3 + [ m 2 k 1 + ( m 1 + m 2 ) k 2 ] s 2 + k 2 b s + k 1 k 2 k 2 x 1 F = \frac{m_1m_2s^4 + m_2bs^3+[m_2k_1+(m_1+m_2)k_2]s^2+k_2bs+k_1k2}{k_2}x_1 F=k2m1m2s4+m2bs3+[m2k1+(m1+m2)k2]s2+k2bs+k1k2x1
2.如图所示，一平行平板电容器由尺寸L=W=1000μm的 平板构成，平行平板之间的间距d=2μm，平行平板之 间为真空介质。试求当控制电压V=50V时，平板法向 静电力的大小？
A
=
L
W
=
1
m
m
2
A = LW = 1 mm^2
A=LW=1mm2
C
=
ϵ
A
d
=
8.854
×
1
0
−
12
f
/
m
×
1
×
1
0
−
6
m
2
2
×
1
0
−
6
m
=
4.427
×
1
0
−
12
f
C = \frac{\epsilon A}{d}=\frac{8.854 \times 10^{-12} f/m \times 1 \times 10^{-6}m^2}{2\times 10^{-6}m}=4.427 \times 10^{-12} f
C=dϵA=2×10−6m8.854×10−12f/m×1×10−6m2=4.427×10−12f
Q
=
C
V
=
2.314
×
1
0
−
10
C
Q = CV =2.314\times10^{-10}C
Q=CV=2.314×10−10C
F
=
Q
2
2
ϵ
A
=
(
2.314
×
1
0
−
11
C
)
2
2
×
8.854
×
1
0
−
12
f
/
m
×
1
×
1
0
−
6
m
2
=
3.0238
×
1
0
−
3
N
F = \frac{Q^2}{2\epsilon A} =\frac{(2.314\times10^{-11}C)^2}{2\times 8.854 \times 10^{-12} f/m\times 1 \times 10^{-6}m^2} =3.0238 \times 10^{-3}N
F=2ϵAQ2=2×8.854×10−12f/m×1×10−6m2(2.314×10−11C)2=3.0238×10−3N
3.一种动力平衡式微型加速度计的工作原理如下图所 示，设质量块的质量为m，用于敏感图中x方向上的加速度；质量块左右两弹簧的弹性系数相等，均等 于k；另外，质量块运动的阻尼系数为b。试建立描述该微系统行为特性的传递函数理论模型。
加速度为a的话，相当于弹簧的力的差值为ma
总系统上的广义电压大小为ma
此时可知
m
a
=
s
x
(
s
m
+
k
1
s
+
k
2
s
)
ma = sx(sm + \frac{k_1}{s} + \frac{k_2}{s})
ma=sx(sm+sk1+sk2)
所以系统传递函数为
x
a
=
m
m
s
2
+
k
1
+
k
2
=
m
m
s
2
+
2
k
\frac{x}{a}=\frac{m}{ms^2+k_1+k_2} = \frac{m}{ms^2+2k}
ax=ms2+k1+k2m=ms2+2km
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