【翻译】SECS GEM系列之五：警报

以前的文章已经讨论了允许通过GEM接口收集数据的功能，以便在最近的文章中描述的工厂应用程序能够分析这些数据。在这篇文章中，我们将回到对SEMI E30 GEM(通用设备模型)标准的特定特性和功能的讨论，特别是对设备错误情况的管理。

在一个完美的世界里，一切都按计划进行，但在现实中，事情总是会出错。成功的秘诀是能够知道什么时候出了问题，然后做出适当的反应。

就像家庭警报系统一样，半导体晶圆厂也想知道什么时候发生了不好的事情。他们想防止正在加工的材料被报废。警报管理使设备能够在出错时通知主机，并提供出错信息。GEM标准将警报管理定义为设备能够通知主机对设备上发生的警报情况和对警报情况进行管理的能力。

在GEM中，一个警报可以是指设备上的任何可能危及正在加工的人员、设备或材料的异常情况。例如，如果技术人员打开一个盖板来替换组件，设备应该发出警报，通知主机在当前状态下操作设备是不安全的。另一个例子可能是，如果一个设备需要高温进行加工，但是传感器检测到低温条件，它应该触发警报，因为在这些条件下运行过程可能会损坏正在加工的材料。当出现警报情况时，设备制造商也有责任制止设备上的不安全活动。设备制造商最清楚设备上需要什么样的特殊警报，以确保人员、设备和材料的安全。

通常，在警报条件发生时，能得到更多的设备中的状况信息是有用的。向传达额外的信息是非常有价值的，但是没法通过正常的警报报告发送/确认消息。为了提供一种途径获取额外信息，GEM要求为设备上每种可能的警报条件定义两个收集事件——一个事件用于设置警报，另一个事件用于清除警报。这些收集事件使得GEM事件数据收集机制可以被用于在警报更改状态时向主机发送额外的相关信息。

除了提供警报状态更改的时间外，设备上的警报管理必须允许主机获取所有警报id和相关警报文本的列表。主机还必须能够启用/禁用设备上的单个警报的报告，并查询设备以获得当前启用报告的警报列表。

警报的状态图不是很令人兴奋，但是它满足了一个至关重要的需求。下图为警报状态图:

 

GEM警报只有两种状态: 每个警报要么处于设置状态，要么处于清除状态。它简单但是有效。

警报管理不是复杂的事情，但通过有效地使用警报管理，晶圆厂可以仔细的监控其工艺设备的健康状况，并将其对生产良率的负面影响降到最低。