Silvaco TCAD仿真学习Lesson1——Atlas仿真

今天学习了Silvaco TCAD的第一节课，大概了解了仿真的基本流程，以MOS为例，来和大家分享啦~分享如下：

第一步：设计结构（有了结构模型，才能在上面进行模拟呐。）

go atlas simflags="-P 3" #使用atlas工具，simflags="-P 3"表示使用3颗CPU执行仿真计算

mesh width=1 #这个就是设置网格基准，默认为1就ok

#下面是设置网格mesh，坐标单位默认是微米(um). loc表示在哪里画一条网格线，spac表示在loc !附近! 按照设定值进行画网格线

x.mesh loc=0 spac=0.05

x.mesh loc=0.1 spac=0.02

x.mesh loc=0.35 spac=0.01

x.mesh loc=0.6 spac=0.1

x.mesh loc=0.85 spac=0.01

x.mesh loc=1.1 spac=0.02

x.mesh loc=1.2 spac=0.1

#上面是在垂直x轴方向画线，下面是在垂直y轴方向上画线

y.mesh loc=-0.3 spac=0.05

y.mesh loc=-0.21 spac=0.05

y.mesh loc=-0.01 spac=0.002

y.mesh loc=0 spac=0.002

y.mesh loc=10 spac=1

#下面是对上面的网格进行区域划分，region关键字，然后区域编号，给出区域（矩形）范围，给定区域材料

region number=1 x.min=0 x.max=1.2 y.min=0 y.max=10 material=silicon

region number=2 x.min=0 x.max=1.2 y.min=-0.3 y.max=0 material=oxide

region number=3 x.min=0.35 x.max=0.85 y.min=-0.21 y.max=-0.01 material=poly

region number=4 x.min=0.35 x.max=0.85 y.min=-0.3 y.max=-0.21 material=aluminum