作为半导体工艺/器件类工程师，应该关注哪些文献和数据库？

最新推荐文章于 2024-10-31 14:14:43 发布

myq889

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分类专栏：集成电路文章标签：数据库

原文链接：https://zhuanlan.zhihu.com/p/63150442

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写这篇文章向大家推荐一下对半导体工艺类/器件类工程师非常有用的学术文献和数据库。

我自己最近在工作中遭遇了一个百思不得其解的芯片生产工艺中的缺陷问题，动用了很多办法也没搞定。不经意间搜索了一些文献才知道，这个case我们的同行们也都遭遇过，并且也都有过明确的失效模型和解决方案。

那么，在哪能够查到跟半导体工艺和器件的相关的文献呢？尤其是半导体生产商的同行们发表的跟芯片生产高度相关的文献。

读博读研的时候，web of science可谓是大杀器，学术界每年也都有数量庞大的前沿探索型研究问世，但是，相信我，99.9%的从web of science搜出的前沿文献对你在工作中遭遇的问题没有任何帮助。但是，我并不是说web of science搜索出来的都是垃圾，很多大牛写的综述性文献还是值得一读的。

但问题是绝大部分半导体制造企业并没有购买web of science的权限

下面，请出本文要隆重介绍的主角：

IEEE Xplore Digital Library。

据我了解绝大多数半导体制造企业都购买了这个数据库的权限，

链接：

IEEE Xplore Digital Libraryieeexplore.ieee.org/Xplore/home.jsp正在上传…重新上传取消

IEEE Xplore Digital Library的主页

IEEE Xplore Digital Library是国际电气与电子工程师学会旗下的文献数据库，几乎涵盖了跟电子电气相关的一切学科，包括195+杂志，1800个会议的历届会议论文，9000+技术标准和大约2400书籍以及485+课程。

这里面包含了很多跟半导体/芯片的研发和生产高度相关的会议论文。虽然收录量并不是非常的庞大，含金量还是非常高的。发表单位主要是各大研究所和芯片制造商，比如三星、Intel、中芯国际、长江存储等单位。

可以直接按照关键字检索你感兴趣的主题，也可以分年份查看某个会议收录的所有论文。

比如我们以TEOS为关键字搜索（注：TEOS是CVD工艺中一种重要的oxide薄膜）

下面列举在IEEE Xplore Digital Library中一些重要的会议论文/杂志的链接，感兴趣的童鞋可以自行点击查看，应届生也可以通过这些文献了解一下半导体工程师是如何解决技术难题的。

1. Advanced Semiconductor Manufacturing, IEEE/SEMI Conference and Workshop

IEEE Xplore - Conference Home Pageieeexplore.ieee.org/xpl/conhome.jsp?punumber=1000018

2. China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)

IEEE Xplore - Conference Home Pageieeexplore.ieee.org/xpl/conhome.jsp?punumber=1807904

3. Semiconductor Manufacturing, IEEE International Symposium on

IEEE Xplore - Conference Home Pageieeexplore.ieee.org/xpl/conhome.jsp?punumber=1000654

4. Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (ASDAM)

IEEE Xplore - Conference Home Pageieeexplore.ieee.org/xpl/conhome.jsp?punumber=1000017

5. Physical & Failure Analysis of Integrated Circuits, International Symposium on

IEEE Xplore - Conference Home Pageieeexplore.ieee.org/xpl/conhome.jsp?punumber=1000562

另外，在IEEE Xplore Digital Library 中搜出很多有用的书籍：

Browse Books By Titleieeexplore.ieee.org/browse/books/title/

比如这都是我感兴趣并搜出的书籍题目：

Future Trends in Microelectronics: Journey into the Unknown

Semiconductor Memories: Technology, Testing, and Reliability

NAND Flash Memory Technologies

Advanced Semiconductor Memories: Architectures, Designs, and Applications

Advanced Theory of Semiconductor Devices

Complete Guide to Semiconductor Devices

Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control

Nonvolatile Semiconductor Memory Technology:A Comprehensive Guide to Understanding and Using NVSM Devices

Semiconductor Material and Device Characterization

都可以成功地下载到PDF版本。这些都是系统综述类的书籍，对于了解整个行业非常有帮助。

如果公司没有买IEEE Xplore Digital Library的全文权限怎么办？难不倒我们。IEEE Xplore Digital Library的搜索权限是免费开放的，找到感兴趣的文献DOI，再在著名的免费下载文献工具——scihub中输入DOI号码即可。

在IEEE Xplore Digital Library轻松找到文献DOI号码

SCI HUB简直就是免费下载文献的大杀器

Scihub 链接：

removing barriers in the way of sciencesci-hub.tw/正在上传…重新上传取消

此外，除了IEEE里面的文献，还有一些国内外的杂志也有着不错的文献，一并列在这里：

国内杂志：

1. 半导体技术

半导体技术www.bdtj.cbpt.cnki.net/WKE/WebPublication/index.aspx?mid=bdtj正在上传…重新上传取消

2. 集成电路应用

集成电路应用navi.cnki.net/KNavi/JournalDetail?pcode=CJFD&pykm=JCDL正在上传…重新上传取消

国外版

1. Thin Solid Films

Thin Solid Filmswww.sciencedirect.com/journal/thin-solid-films正在上传…重新上传取消

2. Solid-State Electronics

Solid-State Electronicswww.sciencedirect.com/journal/solid-state-electronics正在上传…重新上传取消

3. Journal of Vacuum Science & Technology A

Journal of Vacuum Science & Technology Aavs.scitation.org/journal/jva正在上传…重新上传取消

比起我读博士时候关注的学术界文献（比如《JACS》、《Angew》、《Advanced Materials》之流），工业界的文献则显得非常务实，前言不会像学术类文献那样吹得天花乱坠，配图也不像学术界那样眼花缭乱，但是它真的解决了在半导体/芯片研发、生产过程中的问题，即便有的时候出于技术保密的原因没法公布太多细节，但它真的给你带来了很多insight。

不知道同行们还有哪些文献/数据库来源，欢迎留言补充！