数字式EPC温漂实验报告

1实验数据

2实验数据分析
①EPC读数始终是3000是必然的，因为EPC是闭环控制系统会自动消除稳态误差。
②第三方压力读数来源于一个始终处于室温下的压力传感器模组，它的读数代表了EPC的实际输出气压。因此这个压力传感器模组的读数可以衡量EPC的温漂。从数据中可以看到，EPC的温度从28℃-50℃变化后第三方的读数变化了3mv也就是说压力变化了0.03psi。
③皂膜流量计同样始终处于室温下。因此存在一个问题：当EPC处于50℃时的输出气压P_(50℃)和EPC处于28℃时的输出气压P_(28℃)是一样的即P_(50℃)=P_(28℃)；但是EPC和皂膜流量计之间有较长的管路并且皂膜流量计的玻璃管很粗导致气体到达皂膜流量计时的温度和EPC的温度会有较大差异，因此当EPC处于室温下时EPC输出口的工况单位时间流量V_EPC和皂膜处的工况单位时间流量V_皂膜是一致的即V_(EPC28℃)=V_(皂膜_EPC28℃)，当EPC处于非室温环境下时EPC输出口的工况单位时间流量和皂膜处的工况单位时间流量必定不一样。假如气体到达皂膜流量计时温度降到了室温（实际上会高于室温具体多少不清楚。我们使用的皂膜流量计好像以环境温度代替了被测气体的温度，因为无论EPC处于什么温度下皂膜显示温度始终为28.3℃，这就导致了无法从皂膜流量计上获取被测气体温度），以EPC处于50℃为例，根据理想气体状态方程可得(P_(28℃)*V_(皂膜_EPC50℃))/T_(28℃) =(P_(50℃)*V_(EPC50℃))/T_(50℃) ，所以当EPC处于50℃时V_(皂膜_EPC50℃)=0.93188V_(EPC50℃)。假设气阻的特性是稳定的（气阻会被被测气体加热其特性可能会不稳定），所以V_(EPC28℃)=V_(EPC50℃)，因此0.93188V_(皂膜_EPC28℃)＜V_(皂膜_EPC50℃)＜V_(皂膜_EPC28℃)。实测的V_(皂膜_EPC50℃)=0.99107V_(皂膜_EPC28℃)。
④质量流量计处于气阻和皂膜流量计之间，质量流量计的读数和单位时间内流过其的气体质量呈正比，又因为EPC和质量流量计是串联关系所以单位时间内流过EPC的气体质量M_EPC在任意时刻都等于单位时间内流过质量流量计的气体质量M_HAF（质量流量计型号为：HAFBSS0200CAAX5）即M_EPC=M_HAF。当EPC温度升高时EPC输出口处气体的密度会减小，又因为EPC输出口处的压力在任意时刻都保持不变（其实变了，只是变化量非常小）所以单位时间流过EPC的气体质量会减小。假设EPC处于28℃时的气体密度为ρ_(28℃)，则EPC处于50℃时的气体密度ρ_(50℃)=0.93188ρ_(28℃)，在气阻特性不发生变化的情况下M_(HAF_EPC50℃)=0.93188M_(HAF_EPC28℃)。因为当流过HAFBSS0200CAAX5的气体质量为0时HAFBSS0200CAAX5输出2.398V，所以实测的M_(HAF_EPC50℃)=0.9911M_(HAF_EPC28℃)，造成这样的情况有可能是气阻特性发生了变化。
结论：EPC全名Electronic pressure controller（电子压力控制器），顾名思义EPC只能控制出口处气压，至于单位时间内流过EPC的流量还受气阻的影响。并且流量的测量都是间接测量有诸多因素导致无法真实反映流过EPC的流量。因此使用间接测量流量的方法衡量EPC的性能是不科学的。