诚邀参加“美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源样机演示技术”（上海）研讨会

尊敬的老师：　

您好！

很荣幸地邀请您于至2013年01月15日  下午14:00-15:00期间到上海瞬渺参加美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源技术研讨会。

Energetiq 是一个制造和分析纳米级产品结构的高级光源开发制造商。该产品主要用于复杂科研项目和工程运用，例如前沿半导体制造和生命科学分析仪器。

Energetiq 的光电产品基于在整个光谱能够产生高亮度的光,从1ns到1000ns以上,具有高度可靠性，操作周期长，体积小等特点.

Energetiq光源主要用途：光谱学分析，显微镜学，和生命科学感应方面；平版印刷术,计量学和光阻材料的半导体制造开发方面；X射线软件显微镜学；也广泛用于同步加速器辐射和传统弧光灯.

 

ENERGETIQ激光驱动光源产品介绍

EQ-99激光驱动光源：

Energetiq自主研发和生产高可靠性，高性能的光源。我们的产品谱线包括软X射线（SXR），远紫外线（EUV）,深紫外（DUV）的谱线,包括可见光到红外光区（IR），波长范围从1nm到1000nm及以上。Energetiq的光源具有结构紧凑，使用方便，性价比高的特点。

 

技术介绍：

电极激光驱动光源技术

Energetiq自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时，灯的亮度，紫外能量，使用寿命非常有限。无电极的LDLS技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线，并且延长了灯的使用寿命。

?革命性的新技术---连续激光等离子放电

?宽谱线，高亮度

  从170nm到包括可见光区至1000nm以上。

 

无电极Z箍缩等离子体技术

已知的Z箍缩等离子体技术在产生EUV和SXR光时，性能优越。然而，所以目前使用的方法都需要使用电极传导高的放电电流。要产生EUV光，电极需要接触极高温度的等离子体（约500，000℃），此做法会导致电极腐蚀，开裂，甚至熔化。对于连接到光源的任何光学系统，电极残片成为重要的污染源。

Energetiq独特的工艺技术也是基于Z箍缩等离子体技术，但在该过程中避免使用电极，而用诱导方式将电流连入等离子体。Energetiq光源的等离子体被磁性束缚在光墙内，达到热负荷极小化，也极大减少污染残片。

?独特的无电极，无电极电流设计

  --无电极，--无电极残片

?等离子体被磁性束缚，以远离光源组件

--进一步减少残片污染

?磁束缚提供极好的空间稳定性

?低成本，结构简单

 

产品型号		EQ-99	EQ-99FC	EQ-1000	EQ1500
技术参数	光波范围	170nm-2100nm	170nm-2100nm	180nm-2100nm	170nm-2100nm
	数值孔径	Up to 0.47	0.22	0.22	Up to 0.50
	光源寿命	>5,000hrs	>5,000hrs	>9,000hrs	>9,000hrs
外形尺寸	光源尺寸	82.3×85.7×76.2mm(3.2×3.4×3.0in)	82.3 x 85.7 x 76.2 mm (3.2 x 3.4 x 3.0 in)	169 x 118 x 406 mm (6.65 x 4.65 x 16 in)	160.0 x 142.2 x 218.4 mm (6.3 x 5.6 x 8.6 in)
	光源重量	0.7kg(1.5lbs)	0.7 kg (1.5 lbs)	9 kg (20 lbs)	5.0 kg (11.0 lbs)
	电源尺寸	139.8×107.8×254.0mm(5.5×4.2×10.0in)	139.8 x 107.8 x 254.0 mm (5.5 x 4.2 x 10.0 in)	127 x 254 x 318 mm (5” x 10” x 12.5” in)	141.5 x 254.0 x 317.5 mm (5.6 x 10.0 x 12.5 in)
	电源重量	2.2kg(5.0lbs)	2.2 kg (5.0 lbs)	4.5 kg (10 lbs)	6.5 kg (14.3 lbs)
使用要求	同步输出	/	SMA连接器， 光纤耦合宽带光输出	标准光输出界面，可根据客户要求定制	灵活的光学界面，自由空间或者光纤接口，可提供各种精确的反射式光耦合输出
	电源要求	100-240v，50/60Hz,2.5A	100-240v, 50/60Hz, 2.5A	110-240v 50/60Hz (3A)	90-264 VAC, 200 W max
	冷却系统	空气自然冷却	空气自然冷却	水冷，5-10 PSID，0.5-1 GPM，18℃入口温度，控制范围± 1℃	水冷，3 PSID, 0.25–0.5 GPM, 18℃入口温度，控制范围± 1℃
	可选清洁	氮气DUV清洁，6级	氮气DUV清洁，6级	20 PSIG，5 slm	氮气清洁，6级
应用		紫外-可见光光谱测定法 ，光学组件测试，显微镜照明，环境分析 ，材料表征，高性能液相色谱（HPLC），气相测量，长寿命灯的应用需求	紫外-可见光光谱测定法，光纤测试，高性能光谱学，高端成像，高性能液相色谱（HPLC），显微镜照明，环境分析和监测，材料表征和测试，气相测量，过程质量监测，长寿命灯的应用需求	光刻胶处理，光谱学，生物成像，化学感觉，普通科学研究	紫外-可见光光谱测定法，光电发射电子显微镜（PEEM），圆二色性光谱学，原子吸收光谱学，材料表征，环境分析，高光谱成像，气相测量，高级显

 

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组织单位:  

上海瞬渺光电技术有限公司

时 间: 2013年01月15日  下午14:00-15:00

地 点: 上海市申南路59号泰弘研发园1号楼306室

诚邀参加“美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源样机演示技术”（上海）研讨会