SECS/GEM半导体标准 介绍视频
标准
该标准(也称为 SECS-II 消息规范)与协议层配合使用,用于定义消息在设备和主机之间的通信方式。本标准中定义的功能支持IC制造所需的最典型活动。与其他 SECS/GEM 标准一起,SEMI E5 有助于定义用于监视和控制制造设备的软件界面。
SEMI设备通信标准第2部分(SECS-II)定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会12合作制定的。
本标准旨在与SEMI E4设备通信标准(SECS-I)完全兼容。它还旨在允许与备用邮件传输协议兼容。消息传输协议要求的详细信息包含。
本标准旨在将消息定义到如此详细的程度,以便只需对单个设备知之甚少即可构建一些一致的主机软件。反过来,设备可以在对主机的最低限度的了解下构建。
标准中定义的消息支持IC制造所需的最典型活动。该标准还规定了特定于设备的电文的定义,以支持标准电文未涵盖的活动。虽然某些活动可以由主机中的通用软件处理,但预计可能需要特定于设备的主机软件来支持设备的全部功能。
SECS-II为设备和主机之间使用消息传输协议(如SECS-I)交换的消息提供了形式和含义。