SECS/GEM半导体协议介绍

SECS/GEM协议是半导体制造中设备与主机通信的标准,包括SECS-II消息规范和GEM标准。SECS-II定义了设备与主机间消息交换的详细规则,确保无需深入了解设备就能构建软件。GEM则为所有半导体设备提供了标准实施,定义通用设备行为和通信功能,降低自动化成本并提高效率。两者结合支持数据收集、报警管理、远程控制等功能,实现半导体工厂的高效自动化。
摘要由CSDN通过智能技术生成

SECS/GEM半导体标准 介绍视频

标准

该标准(也称为 SECS-II 消息规范)与协议层配合使用,用于定义消息在设备和主机之间的通信方式。本标准中定义的功能支持IC制造所需的最典型活动。与其他 SECS/GEM 标准一起,SEMI E5 有助于定义用于监视和控制制造设备的软件界面。 

SEMI设备通信标准第2部分(SECS-II)定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会12合作制定的。 

本标准旨在与SEMI E4设备通信标准(SECS-I)完全兼容。它还旨在允许与备用邮件传输协议兼容。消息传输协议要求的详细信息包含。 

本标准旨在将消息定义到如此详细的程度,以便只需对单个设备知之甚少即可构建一些一致的主机软件。反过来,设备可以在对主机的最低限度的了解下构建。 

标准中定义的消息支持IC制造所需的最典型活动。该标准还规定了特定于设备的电文的定义,以支持标准电文未涵盖的活动。虽然某些活动可以由主机中的通用软件处理,但预计可能需要特定于设备的主机软件来支持设备的全部功能。

 SECS-II为设备和主机之间使用消息传输协议(如SECS-I)交换的消息提供了形式和含义。

 

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