微软AR英文专利VCSEL ARRAY SCANNING DISPLAY

VCSEL ARRAY SCANNING DISPLAY

ABSTRACT

• 本发明公开了用于使用排列成阵列的多个可单独寻址的垂直腔面发射激光器(VCSELs)产生可查看图像的显示系统、设备和方法。例如,一个显示系统包括包含多个阵列VCSEL光源，包含配置为一个或多个第一颜色行的VCSELs产生第一个颜色,一个或多个第二行VCSELs配置为产生第二个颜色,一个或多个第三种颜色行VCSELs配置为产生第三种颜色。给定行中的每个VCSEL都有一个相对于与给定行相邻的一行或多行中的每个VCSEL的坐标交错的坐标。显示系统还包括扫描系统，用于将来自多个VCSELs的至少一部分的光线定向，以产生可见图像。

BACKGROUND

• 有些光束扫描显示器利用电子扫描系统扫描多个光源以形成图像。这样的显示器可以做得紧凑和轻便，使它们成为增强或虚拟现实应用的需要。然而，从紧凑型光源获得理想的亮度和分辨率可能是一个挑战。

SUMMARY

• 本文以简化的形式介绍了一些概念，这些概念将在下面的详细描述中进一步描述。本摘要不打算确定关键特征或基本特征，也不打算用来限制应用范围。此外，声明的主题不限于解决本公开任何部分中提到的任何或所有缺点的实现。
• 本发明公开了与使用排列成阵列的多个可单独寻址的垂直腔表面发射激光器(VCSELs)产生可查看图像的显示系统、设备和方法。在一个例子中,一个显示系统有包含多个排列成阵列的可单独寻址的VCSELs的光源。阵列包含一个或多个VCSELs沿着第一轴扩展和配置为产生一个颜色的第一颜色行,一个或多个第二个颜色行平行于一个或多个第一行颜色，且空间上沿着垂直于第一轴的第二轴与一个或多个第一颜色行分离,在一个或多个VCSELs第二颜色行配置为产生不同于第一个颜色的第二个颜色,一个或多个第三种颜色行平行于一个或多个第一颜色行，空间上沿着第二轴的一个或多个第二颜色行与一个或多个第一行分离,VCSELs的一个或多个第三颜色行配置为产生不同于第一和第二颜色的第三个颜色。给定行中的每个VCSEL在第一个轴上都有一个坐标，该坐标相对于与给定行相邻的一行或多行的每个VCSEL在第一个轴上的坐标交错。该显示系统还包括扫描系统，该扫描系统包括至少一面镜子，该镜子可围绕至少一个轴移动，以将来自该多个VCSELs的至少一部分的光线在一个或多个方向引导，以产生可查看的图像。

BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

• [0004]图1显示了根据本发明示例的显示系统示例。
• [0005]图2示意图显示了一个显示装置例子,包括一个根据目前公开例子的扫描镜系统。
• [0006]图3根据本演示的例子显示了两个头戴式显示装置的例子。
• [0007]图4示出了波导的示例实施例，并简要地说明了光从波导的输入光耦合到输出光耦合的传播。
• [0008]图5根据本发明的一个示例图示了VCSEL阵列。
• [0009]图6根据本发明的另一个示例图示了VCSEL阵列
• [0010]图7根据目前揭露的例子说明了在硅衬底上的VCSEL的例子。
• 图8是使用根据本发明的示例排列成数组的多个可单独寻址的vcsel生成可查看图像的方法的框图。
• [0012]图9示出了根据本发明的示例的示例计算装置的框图。

DETAILED DESCRIPTION

• 一些光束扫描显示器利用电子扫描系统扫描多个光源以形成图像。这些装置可以具有配置成以预定模式发射光的光源。所述图案可以由一个或多个可移动的反射镜扫描，这些反射镜配置为将至少一部分光线定向到不同方向以形成图像。通过配置多个光源以产生一个或多个原色(如红、绿或蓝)，可以产生彩色图像。使用扫描系统,这些光源可以结合生产彩色图像。

• 使用小型光源阵列和扫描光源的微机电系统MEMS，光束扫描显示器可以变得紧凑和轻便。这种紧凑、轻便的显示器是移动和可穿戴应用程序的理想选择，如增强现实(AR)、虚拟现实(VR)或混合现实(MR)设备。例如,扫描显示可以集成到头盔显示器(HMD)设备。

• 然而，从紧凑的光源中获得理想的光学参数是具有挑战性的。例如，一个波束扫描显示器可能有一个最小阈值亮度输出和/或期望的碰撞水平，这可能很难从μm级光源实现。

• 垂直腔面发射激光器(VCSELs)可作为束扫描显示器的有用光源。VCSELs可以提供比其他光源(如微led)更高的亮度和更准直的光线。作为激光扫描显示器的光源，单个VCSEL阵列还可以作为颜色发生器和灰度调制器。例如，显示器亮度的灰度可以通过这种方式调制激光发射强度而产生，VCSEL阵列可以避免使用其他类型显示器所需的笨重组件(例如LCD显示器的背光)。

• 然而，配置成可生产不同颜色，可能包含不同的材料和/或可能使用不同的制造工艺形成。因此，它可能很难产生一个配置在一个基底上产生不同的颜色的VCSEL阵列。此外，一些VCSEL阵列在数量上比那些适合于高分辨率波束扫描显示的阵列要小。在一些示例中，阵列中的VCSELs可能具有过大的pitches，无法产生特定显示器所需的亮度输出，此类VCSELs也通常典型的在III-V半导体基板或硅基板（缺少单独的驱动电路的）。这可能使对单个vcsel的精确控制变得困难。

• 因此，本发明公开了与从包含排列成阵列的多个可单独寻址的vcsel的光源产生的可查看图像有关的示例。现在参照图1，图示显示系统100的一个示例，包括包含多个可单独寻址的VCSEL 108的VCSEL数组104。显示系统100还包括扫描系统112，扫描系统112包括至少一个镜像116。如下面关于图2更详细地描述的，镜116可在至少一个轴120左右移动，以在一个或多个方向上引导来自多个vcsels 108的至少一部分的光线，以产生可视图像124。

• 如下面更详细地描述的，VCSEL数组104可以由多个配置的VCSELs 108组成，以产生一种或多种颜色，如第一行中的红色VCSELs 128，第二行中的绿色VCSELs 132，以及第三行中的蓝色VCSELs 136。扫描系统112可以将来自红色、绿色和蓝色VCSELs的光结合在一起，以在可见图像124中产生140像素。像素140可能给定范围内的颜色空间,如sRGB,可用通过结合产生的光VCSELs 108。因此，在某些此类示例中，由一个红色VCSEL、一个绿色VCSEL和一个蓝色VCSEL组成的144组可以对应于可见图像124中的一个彩色像素140。

• 现在参照图2，图示了与图像源202通信的显示设备200的原理示例。显示装置200包括操作耦合到扫描镜系统206和光源208的控制器204。控制器204配置为控制扫描镜像系统206和光源208根据从图像源202接收到的图像数据发射光。光源208可包括任何合适的发光元件，如图1中的VCSEL阵列104。electromechanical actuator

• 光源208可配置为产生任何适合的波长范围内的光，如红、绿、蓝波长范围或青色、品红和黄波长范围，以产生彩色图像。在其他例子中，光源208可以输出基本上是单色光。

• 扫描镜系统206包括一个或多个扫描镜210，可控制其改变角度，使来自光源208的光线反射从而扫描图像。如上所述，scamJing镜像系统206可以包括一个配置为在水平和/或垂直方向扫描光线的单一镜像，或两个或多个单独的镜像。例如，可配置单独的镜子以在水平和垂直方向上扫描。在其他示例中，扫描镜系统206可以通过任意数量的镜子以任何其他合适的方式扫描光线。

• 扫描镜像系统206包括一个机电致动器系统220（包括一个或多个可控旋转扫描镜(s) 210的致动器216）。扫描反射镜(s) 210反射光输出212 显示扫描图像。如下面详细描述的，输出212可以采用任何合适的形式，如投影光学、波导光学等。在不同的示例中，显示设备200可以配置为完全沉浸式虚拟现实头戴式显示(HMD)设备，混合现实HMD提供真实环境视图的设备，或任何其他合适的显示设备，如平视显示器、移动设备屏幕、监视器、电视等。（

• 例如，图3显示了HMD设备300的两个示例。HMD设备300的一个例子是虚拟现实HMD设备300A，它包括不透明的、非透明的显示器304。HMD设备300的另一个示例是增强现实HMD设备300B，该增强现实HMD设备300B包括至少部分透明显示器308。下面对传感器和系统的描述可以同时应用于增强现实HMD设备300A和虚拟现实HMD设备300B。

• 在图3的示例中,每个HMD设备300 a和300 b其中包括一个框架312包裹用户头部位置的近眼显示。虚拟现实HMD设备300A的frame可以包括刚性部分和弹性部分，而增强现实HMD设备300B的frame312可以在其圆周上实质上是刚性的。帧312可以支持额外的组件，例如处理器316和输入设备320A、320B和320C。

• 处理器316包括逻辑和相关的计算机存储器324，其配置为向显示器提供视觉内容，接收来自输入设备320A、320B和320C的感觉信号，并制定本文所述的各种控制方案。例如，内存324可以存储处理器316的一个或多个指令激活至少一个可执行的部分VCSELs 108，图1的示例,并控制扫描系统112引导一部分VCSELs发出的直射光输出可视图像124。下面根据图9更详细地描述了有关处理器316和内存3 24的其他细节。

• 再次参考图3,各种合适的显示技术和配置可用于通过头盔显示器的显示设备300 a和300 b显示图像。例如，在虚拟现实HMD设备300A中，显示器304可以是使用本文所述VCSEL阵列的不透明显示器。在增强现实HMD设备300 b,显示308可能是一个至少部分透明显示器配置的增强现实HMD设备300 b使佩戴者通过一个或多个部分透明像素显示虚拟对象表示查看物理环境的物理现实世界对象。例如，增强现实HMD设备300B可以包括显示器308的边缘上的光调制器。在本例中，显示器308可作为光导，将光从光调制器传输到佩戴者的眼睛。显示308可以包括一个被配置为接收从这里描述的VCSEL阵列接受光的波导，扫描系统，并输出可查看的图像。关于波导显示器的其他细节在下面的图4中更详细地描述。

• 显示器308可以包括在立体显示配置中的左和右显示器。左边的L和右边的R分别从用户的相应眼睛的视角显示增强现实场景的视图。通过左L和右R显示器观看增强现实场景，用户可以感知到位于现实世界的特定深度的虚拟对象。

• 输入装置320A、320B和320C可包括各种传感器和相关系统，以向处理器316提供信息。这些传感器包括一个惯性测量单元(IMU) 320a,一个或多个图像传感器320 b,和一个或多个ambient光源320 c。一个或多个外置图像传感器320B可配置为捕获和/或测量增强现实HMD设备320B所在的物理环境的物理环境属性。在一个示例中，所述一个或多个图像传感器320B可包括被配置为收集物理空间的可见光图像的可见光camera。

• 【0030】一个的增强现实HMD设备320 b,其中包括有一个透明的显示类型的显示308,aug-mented现实HMD设备300 b相对于物理环境可能评估的位置和/或姿态,以便增强现实图像可能准确地显示在所需的真实位置和期望的方向。在增强现实HMD设备300 b和虚拟现实头盔显示器设备300 a中，imu320a可能是配置为提供位置和/或方向数据给数据处理器316。由IMU的传感器信号导出的方位可用于显示一个或多个具有真实且稳定的位置和方位的全息图像。

• [0086]本公开包括各种程序、系统和配置以及其他特征、功能、表现和/或性能的所有新的和不明显的组合和子组合，以及任何和所有类似物。

• display system comprising

• a light source comprising a plurality of individually-addressable vertical cavity surface emitting lasers arranged into an array comprising,

• one or more first color rows of VCSELS extending along a first axis and configured to produce a first color.

• one or more second color rows of vcsels parallel to the one or more first color rows and spatially separated from the one or more first color rows along a second axis perpendicular to the first axis,the vcsels in the one or more second color rows configured to produce a second color different from the first color,

• one or more third color rows of vcsels parallel to the one or more first color rows and spatially separated from the one or more first color rows and the one or more second color rows along the second axis, the VCSELs in the one or more third color rows con­figured to produce a third color different from the first color and the second color,

• 2. 权利要求1的显示系统，其中vcsels的一个或多个第一色行、一个或多个第二色行和一个或多个第三色行各组成一行。

• 3.权利要求1的显示系统，其中vcsels的一个或多个第一色行、一个或多个第二色行和一个或多个第三色行各包含两个或多个行。

• 4. 权利要求1所述的显示系统，其中所述第一色行、第二色行和第三色行中的VCSELs之间的间距约为4-30微米
• 5. 所述显示系统如权利要求1所述，其中所述至少一个镜子在平行于所述第一轴的至少一个轴上可移动。
• 6. 所述显示系统如权利要求1所述，其中所述至少一个反射镜配置为以平行于所述第二轴的方向扫描所述多个VCSELs的部分。
• 7. 所述显示系统如权利要求1所述，其中所述多个VCSELs的部分由互补金属-氧化物-半导体(CMOS)驱动电路单独驱动。
• 8. 如权利要求1所述的显示系统，进一步包括配置为接收来自扫描系统的光并输出可见图像的波导
• 9. 如权利要求1所述的显示系统，其中VCSELs被配置为发射波长与给定颜色相对应的光，通过荧光粉材料发射光以产生给定颜色，或通过滤光片发射光以产生给定颜色。
• 10. 权利要求1的显示系统，其中第一种颜色是红色，第二种颜色是绿色，第三种颜色是蓝色。
• 11. 一种头戴显示器(HMD)设备，包括:光源，包括多个独立寻址阵列vcsels，