摘要:目前,最新的JS-002标准为2018年版,涵盖的内容包括标准的使用范围、试验目的、试验过程、实验方法和相关注意点。本文主要论述关于JS-002-2018的部分基础内容,包括标准的产生、应用的器件和试验过程的注意事项。
正文:
1. 标准的产生
JS-002-2018中文译名为《用于静电放电的敏感度测试-带电器件模式(CDM)》,由JEDEC和ESDA联合编写,取代了JEDEC之前的JESD22-C101和ANSI/ESD S5.3.1。
CDM是Charged Device Model的首字母缩写,JS-002-2018中对CDM模型给出解释:器件本身带电(例如,器件表面的摩擦起电或者通过电场感应),并在接触导电物体时迅速放电,放电时间仅有几纳秒。CDM是一种金属-金属放电,通过空气击穿电弧产生产生非常快速的电荷转移,达到数十安培的峰值电流。CDM放电模式很难标准量化和再现,在CDM模型中,观察到的MOS器件典型失效机制是介电损伤。
2. 应用的器件
JS-002-2018应用的器件如表1所示,需要注意的是插接式放电模型测试仪不适用JS-002-2018。图1~图5是各种器件的示意图。
表1 JS-002-2018应用的器件