【光学镀膜】-- USPM反射率、LAB

系列文章目录


前言

日本OLYMPUS(奥林巴斯)

  • 测定反射率
  • 测定膜厚
  • 测定物体颜色
  • 测定透过率
  • 测定物体颜色XY色度图、LAB色度图
  • 测定入射角为45度的反射率

一、OLYMPUS(奥林巴斯)

1.实现高速测定

使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定,从而实现高速测定。

在这里插入图片描述

2.最适用于测定细小部件、镜片的反射率

在这里插入图片描述

3.测定反射率时,不需要背面防反射处理

在这里插入图片描述

4.可选择的膜厚测定方法

在这里插入图片描述

二、USPM-RU III

1.介绍

  • USPM-RU III反射率可测当前分光仪无法测量的微小,超薄样本的光谱反射率,不会与样本背面的反射光产生干涉;
  • 适合测量曲面反射率、镀膜评价、微小部品反射率测定系统;
  • 消除背面反射光;
  • 测定微小区域的反射率
  • 测定时间短
  • 支持XY色度图、LAB测定;
  • 可以测定高强度镀膜膜厚;

2.特点

  • 采用特殊光学系统,消除背面反射光
  • 不必进行背面的防反射处理,可正确测定表面的反射率
  • 用物镜对焦于样本表面的微小光斑,可以测定镜片曲面及镀膜层是否均匀
  • 使用了Flat Field Grating和线传感器的高速分光机构,可以进行快速,再现性很高的测定
  • 可以依据分光测色法,通过分光反射率测定物体颜色
  • 采用干涉光分光法,可以在不接触、无损的情况下测定被检测的膜厚(单层膜)

3.参数

项目参数
测定波长380nm-780nm
测定方法与参照样本的比较测定
被测物N.A.0.12(10x物镜)、0.24(20x物镜)、
被检物W.D.10.1mm(10x物镜)、3.1mm(20x物镜)
被检物的曲率半径-1R ~-∞、+1R~∞
被检物的测定范围约ø60 μm(使用10×物镜时) 、约ø30 μm(使用20×物镜时)
测定再现性(2σ)±0.1%(380 nm~410 nm测定时) 、±0.01%(410 nm~700 nm测定时)
显示分辨率1 nm
测定时间数秒~十几秒(因取样时间而异)
光源规格卤素灯 12 V 100 W
载物台Z方向驱动范围85mm
PC接口USB方式
装置重量机身:约20 kg(PC、打印机除外) 、光源用电源:约3 kg 、控制器盒:约8 kg
装置尺寸机身: 300(W)×550(D)×570(H) mm 、光源用电源: 150(W)×250(D)×140(H) mm 、控制器盒: 220(W)×250(D)×140(H) mm
电源规格光源用电源: 100 V(2.8 A)/220 V AC 、控制器盒: 100V(0.2A)/220V AC
使用环境水平且无振动的地方 、温度: 23±5 °C 、湿度: 60%以下、无结露

4.光源

光源按照1天8小时使用,大约3年或按照通电时间约15000小时中短的为主;

5.特长

  • 测定时间短:通过使用平面光栅及线路传感器进行高速分光;
  • 阻断内面反射噪音:使用环状照明,切断内面反射的噪音,不进行防止内面反射的处理,就可以正确测定表面反射率
  • 测定微小面积:由于利用物镜,将约60um(使用10x物镜)的点与被测面连接,因此还可以测定镜头曲面及喷涂不均;
  • 灵活:可以各个比较测定用基准的反射率作为基准值进行设置,因此可以比较灵活的测定;

6.测定原理

在这里插入图片描述
在图中,照射环状遮罩的光束通过准直仪镜头成为平行光束,利用半透明反射镜进行反射,穿过物镜,在样品面上按照约60[um](使用10x物镜时)进行聚光。
然后,该样品面上的反射光再次返回物镜,分为穿过半透明反射镜的光束与被半透明反射镜折回,面向准直仪镜头的光束。穿过半透明反射镜的光束可以经过成像镜头,利用目镜进行观察。面向准直仪镜头的光束经过准直仪镜头及半透明反射镜,在FS2:视野光圈上聚光。
在这里,FS2发挥了防止光斑的作用。而且,端面上的像被平面场光栅分开,在镜子上反射后,测定分光能量。
而且,通过将半透明反射镜配置在成像镜头与准直仪镜头之间,可以利用目镜进行物镜与被检测面的聚焦。
此外,为了消除测光时来自目镜的外部光,目镜前的目镜快门在测定背景、参照及样品时将分别自动关闭。

7.规格

项目规格
点直径60um(10x物镜)、30um(20x物镜)
灯泡卤素灯12V100W

三、USPM-W

1.特征

  • 宽带测定:可以在波长380nm~1050nm的宽带中进行分光特性的测定;
  • 微小区域测定:可以在球面、微小光学部件的微小区域φ70um(安装选配件40倍物镜时,最小为φ17um)上测定表面反射率;
  • 薄板测定:可以进行板厚为1mm(安装选配件40倍物镜时,最薄为0.15mm)的测定;
  • 镜片周边地区的反射率测量:通过使用旋转台,镜片周边地区的反射率测量变的容易;

2.选定物镜

型号USPM-OBL10USPM-OBL20USPM-OBL40
倍率10x20x40x
NA0.120.240.24
测定范围(点直径)70um35um17.5um
工作距离14.3mm4.2mm2.2mm
试料的曲率半径±5mm~±1mm~±1mm~
试料的厚度1.0mm以上0.5mm以上0.2mm以上

四、包装

  • 近红外显微分光测定仪USPM-W-B使用说明书
  • 分光解析软件USPM-SA使用说明书
  • 分光解析软件USPM-SA安装步骤书
  • 仪器主体
  • 控制电源箱
  • 灯罩
  • 10倍物镜
  • 20倍物镜
  • 40倍物镜
  • BK7参照样品
  • 波长校正样品
  • USB电缆
  • 灯用电缆
  • IO电缆
  • 软件CD-ROM
  • 保护密钥
  • 卤素灯
  • 保险丝
  • 旋转器盖
  • 六角扳手
  • 旋转台
  • 高反射率基准样品,高反射率45度参照样品

总结

本文提取自:https://max.book118.com/
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吾所谓钟情者,是灵魂深处一种爱慕不可得已之情。由爱而慕、慕而达则为美满姻缘,慕而不达,则衷心藏焉,若远若近,若存若亡,而仍不失其为真情。此所谓爱情。

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