2022年全球静电卡盘市场销售额达到了1793百万美元,预计2029年将达到2308百万美元,年复合增长率(CAGR)为5.25%(2023-2029)。从销量上看,2022年全球静电卡盘销量为5.84万件,2029年将达到7.62万件。
静电卡盘市场具有高度垄断性,主要由日本和美国等企业主导,包括美国 Applied Materials、美国 LAM、日本新光电气、日本 TOTO、日本 NTK 等公司。美国公司,如 Applied Materials 和 Lam,为自己的半导体设备生产静电卡盘。他们将生产的PVD、CVD等设备配套静电卡盘一起卖晶圆代工厂或 IDM公司,由于静电吸盘属于消耗品,使用寿命一般不超过两年,因此静电吸盘的替换量比较大。
Applied Materials、Lam Research 和 SHINKO 位居 2022年全球半导体静电吸盘市场收入份额前三名。Applied Materials 以43.85%的收入市场份额占据全球主导地位,Lam Research和SHINKO以31.58%和10.21% 的收入份额紧随其后。
静电卡盘市场主要由 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建,中国半导体设备销售额占全球比例快速上升。2022年,中国静电卡盘市场规模达到了3.46亿美元,预计2029年将达到5.05亿美元,2023-2029年复合增长率(CAGR)为7.09%。
中国和台湾在半导体静电吸盘领域已经有了一定的技术突破。中国大陆企业北京优精密科技有限公司的静电卡盘技术已达到客户要求。中瓷电子2022年静电卡盘和陶瓷加热器均实现量产突破,交付头部半导体设备厂商,今年已经在放量。台湾公司瑞耘科技在静电卡盘领域也有一定的突破。
目前中国市场的主要厂商包括Applied Materials、Lam Research、SHINKO、TOTO、Creative Technology Corporation等,2022年主要厂商(top3)份额占比超过85.0% ,预计未来几年行业竞争将更加激烈。