【无标题】FT测试工厂的测试机冷却水系统调试

目录

前言

一、测试设备需求

二、厂务设计

三、FLEX冷却水系统介绍：

3.1FLEX冷却水系统硬件介绍

 3.2FLEX冷却水系统寄存器介绍

 3.3FLEX冷却水系统控制逻辑

3.4SMC-to-CDU接口

3.5CDU传感器位置

 3.6 CDU控制器

总结

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前言

FT测试工厂中的大型ATE往往采用循环水冷却方式，工厂循环水的设置需满足ATE测试机的要求。

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一、测试设备需求

泰瑞达和爱德万为排名全球前二位的厂商，以ULTRA-FLEX及ADVANTEST 93000为例，其循环水需求如下。

FLEX需求：

厂务水温度：4.5℃-15.5℃

厂务水水压：0.275Mpa~1.03Mpa

厂务水流速：180L/min(max)

厂务水压差：0.2Mpa以上

93K需求：

厂务水温度：5℃-20℃

厂务水水压：0.2Mpa~0.5Mpa

厂务水流速：180L/min(max)

厂务水压差：0.05Mpa以上

综上，厂务水需求可按以下条件要求：

厂务水温度：10℃

厂务水进水水压：0.4Mpa~0.6Mpa

厂务水回水压：0.2Mpa~0.4Mpa

厂务水流速：40L/min-100L/min

厂务水压差：0.2Mpa

二、厂务设计

循环水系统流程如下：

管道回水管->风冷机组（将水温将低至10℃）->补水（必要时）->循环泵（将水压提升到0.5Mpa）->设备进水管道->设备降温->设备回水管->泄压（必要时）->管道回水管

三、FLEX冷却水系统介绍：

3.1FLEX冷却水系统硬件介绍

FLEX的水冷系主要部件包括:
•冷却分配单元(CDU)
•从测试头到测试头的软管
•转换流形
•QD流形
所有测试头都有两块配电板，这两块配电板是液冷的，并连接到过渡歧管。
工艺冷却剂是HFE-7100，一种由3M公司制造的电介质流体。

液冷系统:CDU
CDU是液冷系统的组成部分，包括储液器、液对液热交换器、泵和控制机组运行的电子设备。
CDU的目的是在恒定的排放压力下将温控冷却剂输送到测试头。
CDU与SMC (system monitor and control)子系统相连接，并受其控制。

空气冷却系统
风冷系统由以下部分组成:
•测试头进气口
•空气-液体热交换器
•空气静压箱和管道
•叶轮，位于机械手机柜内
•排风机，位于支撑柜中

 操作臂柜可配置从顶部或底部排气。
支撑柜和扩展柜均采用排风机冷却，排风机位于机柜顶部。
暖风在机柜内向上走，从机柜顶部的通风口排出。

设施-冷冻水回路
冷却分配单元(CDU)作为系统的液对液热交换器。UltraFLEX测试系统可以采用标准CDU或大容量CDU，后者具有更大的散热能力。尽管这两种类型的CDU操作相似，但下面的页面将描述标准CDU。
CDU包含两个物理隔离的流体路径:一个设施冷却水回路和一个hfe过程冷却剂回路。

 CDU设施冷冻水回路组成如图所示。
CDU通过内部热交换器将冷却剂吸收的热量转移到设施用水中。

 图中为CDU HFE-process冷却液回路中的部件。
CDU以约50 psi(0.34Mpa)的排放压力将温控冷却剂输送到测试头。

 设施冷却水通过1的管道进入标准CDU。、外凸轮与槽接头。可拆卸连接器安装在1的接头上。母NPT接头。供应线和回线都有相应的标记，并使用相同的连接器配件。大容量CDU的连接方式相同，均为1-1/ 4in。配件。
供应和回流管路都可以通过手动阀门进行隔离。

四个测试点，PP-101到PP-104，允许您测量CDU水侧管道特定点的水压。所有测试点都使用P/T插头。用于防止废物和HFE的无意交叉污染。位于测试头上的冷