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前言
FT测试工厂中的大型ATE往往采用循环水冷却方式,工厂循环水的设置需满足ATE测试机的要求。
一、测试设备需求
泰瑞达和爱德万为排名全球前二位的厂商,以ULTRA-FLEX及ADVANTEST 93000为例,其循环水需求如下。
FLEX需求:
厂务水温度:4.5℃-15.5℃
厂务水水压:0.275Mpa~1.03Mpa
厂务水流速:180L/min(max)
厂务水压差:0.2Mpa以上
93K需求:
厂务水温度:5℃-20℃
厂务水水压:0.2Mpa~0.5Mpa
厂务水流速:180L/min(max)
厂务水压差:0.05Mpa以上
综上,厂务水需求可按以下条件要求:
厂务水温度:10℃
厂务水进水水压:0.4Mpa~0.6Mpa
厂务水回水压:0.2Mpa~0.4Mpa
厂务水流速:40L/min-100L/min
厂务水压差:0.2Mpa
二、厂务设计
循环水系统流程如下:
管道回水管->风冷机组(将水温将低至10℃)->补水(必要时)->循环泵(将水压提升到0.5Mpa)->设备进水管道->设备降温->设备回水管->泄压(必要时)->管道回水管
三、FLEX冷却水系统介绍:
3.1FLEX冷却水系统硬件介绍
FLEX的水冷系主要部件包括:
•冷却分配单元(CDU)
•从测试头到测试头的软管
•转换流形
•QD流形
所有测试头都有两块配电板,这两块配电板是液冷的,并连接到过渡歧管。
工艺冷却剂是HFE-7100,一种由3M公司制造的电介质流体。
液冷系统:CDU
CDU是液冷系统的组成部分,包括储液器、液对液热交换器、泵和控制机组运行的电子设备。
CDU的目的是在恒定的排放压力下将温控冷却剂输送到测试头。
CDU与SMC (system monitor and control)子系统相连接,并受其控制。
空气冷却系统
风冷系统由以下部分组成:
•测试头进气口
•空气-液体热交换器
•空气静压箱和管道
•叶轮,位于机械手机柜内
•排风机,位于支撑柜中
操作臂柜可配置从顶部或底部排气。
支撑柜和扩展柜均采用排风机冷却,排风机位于机柜顶部。
暖风在机柜内向上走,从机柜顶部的通风口排出。
设施-冷冻水回路
冷却分配单元(CDU)作为系统的液对液热交换器。UltraFLEX测试系统可以采用标准CDU或大容量CDU,后者具有更大的散热能力。尽管这两种类型的CDU操作相似,但下面的页面将描述标准CDU。
CDU包含两个物理隔离的流体路径:一个设施冷却水回路和一个hfe过程冷却剂回路。
CDU设施冷冻水回路组成如图所示。
CDU通过内部热交换器将冷却剂吸收的热量转移到设施用水中。
图中为CDU HFE-process冷却液回路中的部件。
CDU以约50 psi(0.34Mpa)的排放压力将温控冷却剂输送到测试头。
设施冷却水通过1的管道进入标准CDU。、外凸轮与槽接头。可拆卸连接器安装在1的接头上。母NPT接头。供应线和回线都有相应的标记,并使用相同的连接器配件。大容量CDU的连接方式相同,均为1-1/ 4in。配件。
供应和回流管路都可以通过手动阀门进行隔离。
四个测试点,PP-101到PP-104,允许您测量CDU水侧管道特定点的水压。所有测试点都使用P/T插头。用于防止废物和HFE的无意交叉污染。位于测试头上的冷