几种非接触涂层测厚方法原理对比

1．传统非接触式涂层厚度测量方法

当物质受到光、声波、辐射等激发时，物质会吸收一部分能量转化为热能。基于该原理能通过光源照射待测基材来测量其光热反应（红外辐射），从而确定基材上的涂层厚度。图1展示了样品被激发光源照射时发生的光热反应现象。除了特殊发光材料外，照射激发的光能主要转化为热能，造成样品表面温度发生变化。

图1样品对光源照射作出热反应

如图2所示，有几种光热反应的测量方法。例如：检测样品表面红外辐射的光热辐射法、利用麦克风以声波形式检测样品周围气体的热膨胀方法(麦克风光声法)、利用压电元件检测热弹性波的压电元件法、利用光学干涉系统中的光学探头检测热膨胀引起表面位移的光热位移测量法等。

图2各种热反应的检测方法

光干涉法和光束偏振法是通过将激光束照射到样品表面，用光束位置传感器检测反射光因光热位移而产生的反射角变化来测量涂层厚度，如图3所示。

图3通过激光束进行光束偏振的方法

但采用激光束的测厚方法要求样品与测厚仪器的测量距离较短，且照射激光束必须垂直于样品表面。当待测样品在涂装生产线上的吊架或传送带上运动时，运动中的物体容易碰撞探头