41、不锈钢压力传感器与源漏间隔可重构器件的研究进展

不锈钢压力传感器与源漏间隔可重构器件的研究进展

不锈钢压力传感器

在压力传感器领域，不锈钢材质因其良好的抗腐蚀性和机械性能，被广泛应用于恶劣环境下的压力测量。此前，已经有多种基于不锈钢的压力传感器被开发出来。

1. 不同类型不锈钢压力传感器回顾

   • 电容式压力传感器：由不锈钢基板、不锈钢隔膜和表面微加工背电极组成，用于低压测量。
   • 压阻式压力传感器：采用金属薄膜作为应变计，粘结在不锈钢隔膜上，适用于轨道燃油喷射系统。
   • 基于光纤布拉格光栅（FBG）传感器的不锈钢压力传感器：使用刚性中心隔膜和固定导向梁，压力测量范围为0 - 20 bar。
   • 基于还原氧化石墨烯 - 滤纸应变计的不锈钢压力传感器：同样采用刚性中心隔膜和固定导向梁，具有高灵敏度。
   • 新型不锈钢谐振压力传感器：采用压电激励和检测方式，使用Ritz方法和直接刚度方法建立了完整的分析模型，并使用三种不同等级的不锈钢（SS 304、SS 431和15 - 5 PH）进行制造和测试，压力范围为0 - 25 bar。

2. 新型谐振压力传感器设计

   • 传感器结构 ：该传感器由三部分组成，具体如下：
     • 第一部分（Part I）：是一个具有一定直径和厚度的圆柱形不锈钢棒，底部开槽形成非均匀厚度的方形隔膜，作为输入压力的主要传感元件。
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