用力和应变片计算弹性模量_基于 MEMS 技术的应变计仿真设计分析

在土木工程和生物医学领域，应变计用于测量不同物体所承受的形变。通常使用箔式应变计，但灵敏度较低。基于 MEMS 技术的应变计，如双端音叉（double-ended tuning fork，DETF）应变计，可以提供更好的性能。研究人员使用 COMSOL Multiphysics® 软件对一种新型 DETF 应变计的设计进行优化，并将结果与理论模型进行了比较。

基于 MEMS 技术的应变计优势

应变计测量的是人造结构和生物结构对外施应变的反应。这些装置在机械及土木工程领域很常见，常用于监测桥梁的结构状态是否良好、检测石油钻井平台附近的土壤压力变化，以及测试飞机部件。应变计甚至可以用来分析人类和动物的骨骼结构。

一种用于测量纽约哈德逊-雅典灯塔裂缝增长的机械应变计。图片经 CC BY-SA 2.5 授权，由罗伊·史密斯通过 Wikimedia Commons 提供。

在性能方面，基于 MEMS 技术的应变计相比标准箔式应变计有以下基础优势。首先，MEMS 传感器比箔片传感器具有更高的应变灵敏度，从而使测量结果更加精确。另外，基于 MEMS 技术的应变计还具有更高的断裂强度，能够承受较高的工作温度和粘接温度，因此比箔式应变计更耐用，应用范围更广。

DETF 应变计有其独特的优势：

• 尺寸小；
• 高灵敏度；<