ecg 幅度_可以与NFC/RF交互的柔性ECG模块

近年来，生物医学可穿戴设备的应用范围日益增长。在人们日常的生活中，这些设备悄无声息的监测人们的身体，可以对患者做早期诊断并获得有效的治疗信息，或提供给健康人相关信息，让他们保持健康的生活方式。通常，生物医学可穿戴设备目的是在测量生命体征或不同器官(例如大脑，肌肉和心脏)的“生物信号”(生物电学活动信号)。

 心血管疾病是全球范围死亡率最高的疾病之一，每年有31％的患者得不到有效治疗而死亡。心电图(ECG)是诊断这些疾病的重要工具，它是一种对心脏的电势进行无创表面测量的方法。为了进行ECG测量，需要将患者通过导线模块连接到庞大的生物电势采集系统。这就使得该项工作无法进行长期测试。因此，用于连续监测ECG的可穿戴解决方案对于在早期诊断各种心血管疾病特别有意义。本文的重点是用于测量ECG的可穿戴贴片。连续监测生理信号要求可穿戴设备与身体形状相适应，以提高生理信号监测的质量并确保最大的使用舒适度。因此，制造技术和新材料的进步使得制造柔性和保形电子产品成为可能，这也是制造生物医学应用中可穿戴设备的重要保障。在过去的几十年中，许多柔性材料，包括多晶硅、氢化非晶硅、有机半导体和金属氧化物等，都被用来作为薄膜晶体管(TFT)的半导体。Hosono的团队对柔性TFT领域做出了重要贡献，展示了室温下沉积在柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上的非晶态铟镓氧化锌薄膜晶体管(a-IGZO)。在柔性大面积衬底上制备的a-IGZO薄膜晶体管具有灵活性、重量轻、成本低等优点，是构建可穿戴生物信号采集系统的重要基础。目前可穿戴生物信号监测设备大致可分为三类：(一)所有有源元件都是刚性硅集成电路(IC)的器件。这些器件是通过封装技术，利用柔性或弹性层，通过在织物中集成或使用柔性互连来构建的。多亏了硅集成电路，这些可穿戴设备可以实现复杂的电子功能，但由于存在许多刚性部件，用户的舒适度降低。(二)可穿戴设备，其中传感器和/或前端元件基于柔性材料/基板，而系统的其余部分则采用刚性硅集成电路实现。在这种混合解决方案中，柔性电子设备和传感器用于与人体接口，而刚性电子器件(传统硅集成电路)用于信号处理和通信功能，如放大、滤波、数字化和数据传输。这样，柔性基板的柔韧性和一致性与刚性元件良好的信号采集和处理能力相结合。然而，在这种方法中，由于需要结合柔性和刚性部件的加工，制造步骤和成本都会增加。此外，刚性部件可能会降低患者的舒适度，并因运动而干扰测量。(三)所有部件均采用柔性电子元件制造的可穿戴设备。这些柔性设备中使用的材料重量轻，完全符合人体，确保了最大的用户舒适度。为了推进完全基于柔性电子设备的可穿戴生物信号监测设备的发展水平，该项目团队推出了了一种柔性心电传感器，它利用基于柔性箔的TFT电路实现全链信号采集，放大和数字化，能够测量由一对具有足够信噪比的电极捕获的心电信号(图1)。此外，数字输出以串行105.9kb/s ，与NFC无线传输标准兼容，因此可以将测量的数据发送到智能手机以进行进一步的细化和呈现。无需任何刚性的主动元件，使系统符合人体，使用舒适。此外，采用柔性TFT的整个系统减少了集成刚性和柔性电子元件所需的额外处理步骤和成本，从而使解决方案能够与一次性使用兼容。

图1 在代表性的应用场景中显示的ECG模块生物电位采集系统通常由两个主要模块组成(图2a)：模拟前端(AFE)放大信号，同时确保适当的噪声水平，以保持信号的形状，并提供足够高的阻抗，以便使用合适的电极读取皮肤上的电压。随后，模数转换器(ADC)将生物电位信号转换为数字表示，从而实现可靠的无线传输和/或进一步的信号处理。如图2a所示，ADC通常由比较器、数模转换器(DAC)和适当的逻辑组成。为了尽量减少温度和技术变化的影响，AFE和ADC通常都被设计成这样，它们的信号传递函数由相似元件(例如电阻器)的比率决定。如果变化对所有成分的影响与它们的值成比例(例如，每平方的电阻增加了一定的量)，这些比率往往保持不变。此外，在典型的硅设计中，DAC使用参考电压发生器(图2a)。该参考电压对工艺、电源和温度(PVT)变化非常稳定。DAC使用该基准来产生输出电压，该输出电压对PVT也是稳定的。在现有技术水平下，很难在a-IGZO中制作基准电压，因为用于此目的的主要组件(二极管和双极结晶体管)在a-IGZO工艺中不可用。

图2  a常规的生物电势采集系统，b本文中介绍的ECG采集系统的系统级图，c所介绍系统的详细架构

基于这个原因，本文提出的设计采用了一种完全不同的方法，将输入数据在时域内数字化。该概念如图2b所示。在AFE之后，使用复位积分器来转换占空比信息中的信号幅度(脉冲宽度调制，即PWM表示)。这意味着积分器产生的信号占空比与输入信号成比例。然后简单地通过计算积分器每个周期输出高的时钟周期来实现数字化。在这种情况下，数字化需要时间基准，如图2b所示。在该项目团队的系统中可以很容易地生成时间基准，这意味着通过NFC与智能手机通信。事实上，在数字域中进行适当的划分后，NFC载波可以在箔片上接收，其13.56 MHz频率用作时间参考。这里描述的方法提供了一个稳健的数字化策略，而不需要电压基准，因此特别适合于在箔上使用a-IGZO TFT。图2c提供了所提议的柔性贴片的更详细的示意图。该系统由两个塑料箔(图1)组成，在塑料箔上制造a-IGZO tft。第一个箔片(模拟子系统)连接到电极。AFE捕捉ECG信号，复位积分器将其转换为PWM表示。第二个箔材(数字子系统)与第一个箔材(模拟子系统)相连，数字化PWM信号并将输出位序列化，以便使用射频(RF)NFC通信将其发送到接收器。模拟前端(AFE)由输入斩波器(图2c，CHin)、两级级联二极管连接负载前置放大器(图2c)、去斩波器(图2c，CHout)和低通滤波器(图2c，LPF)组成。输入信号在输入斩波器之前进行交流耦合，以消除较大的直流电极偏移44。针对生物信号的低频特性，采用斩波抑制放大器的闪烁噪声和失调。选择斩波频率作为噪声、前置放大器带宽(对功耗有影响)和输入阻抗之间的权衡。前置放大器的设计带宽大于目标斩波频率，即1 kHz。它们使用二极管连接的负载tft构建，因此它们的增益取决于输入和负载器件跨导的比率，提高了对处理变化的鲁棒性。每个前置放大器的详细示意图如图3a所示。输入tft M1,2具有较大的(15000μm²)面积，以使1/f噪声角接近斩波频率。对于二极管负载晶体管M3和M4(图3a)，后栅极连接到输出节点以增加输出电阻，而输入晶体管M1和M2将背栅极连接到其前栅极以增加跨导并提高噪声效率。为了避免过多的噪声混叠，前置放大器的输出由另一个带有二极管连接负载的差分放大器进行低通滤波，其标称带宽为100 Hz(图2c，LPF)。

图3  a前置放大器中两个级联二极管负载放大器各自的原理图，b复位积分器，以及c复位积分器的工作原理

AFE之后是复位积分器(图3b)。后者由带有负载电容器CL的差分输入对M5、M6组成。这里是一个两相积分，其中在第一阶段，电容器放电与信号有关，在第二阶段，两个比较器之间的时间游走差最小化，电压占空比变换的线性度得到改善。此外，复位积分器的低通特性提高了整个链的信噪比。积分器输出的两个分支之间阈值交叉的时间延迟 T _out与输入信号成比例(图3c)。比较器输出然后被馈送到一个异或门，以获得输入信号的PWM表示和一个额外的符号位。整个模拟子系统在晶体管数量方面极为精简，这有利于提高电路产量和功耗。从图3c可以看出积分器输出脉冲宽度 T _out和输入信号 V _in之间的关系，如下所示：

其中，T _out是输出脉冲宽度，V _in是差分输入信号，A是两级级联放大器的增益，g _m是积分器中输入晶体管的跨导，φ是积分周期，I _b2是相位期间的放电电流在数字子系统(图2c)中，时钟分频器用于从13.56mhz源(CLK)生成定时信号。PWM输出用频率为CLK/32的时钟进行时钟门控(并因此在时间上量化)，然后馈送到异步计数器，该计数器创建PWM输出的数字多位表示。典型的ECG信号的振幅为1μmV，目标等效输入噪声约为10μVrms。增加10 dB的裕度以确保量化噪声不占主导地位，并额外增加10 dB以适应更大的信号，可获得60 dB的模拟到数字转换的目标动态范围。这就需要一个10位的转换分辨率，因此该项目团队为该项目团队的第一个原型选择了一个10位计数器。然后，计数器输出被序列化和曼彻斯特编码，生成一个32位串行流，包括12位前导码、10个计数器位和其他固定有效载荷。串行化器和曼彻斯特编码器采用频率为CLK/128的时钟驱动，以提供105.9kb/s的输出比特流，与NFC射频传输兼容。驱动模拟子系统所需的时钟相位也在箔片(时钟相位发生器)上生成。图4a显示了级联前置放大器的测量传输曲线。它在3.7 kHz带宽内获得23.5 dB的增益，10 V电源的电流消耗为12.5 a。在1-100Hz BW中，集成输入参考噪声为8μVrms，斩波频率为1 kHz。

图4  a级联前置放大器的测得的频率响应和以输入为参考的噪声，b完整模拟链(从输入到输出PWM)的测得的传递函数，c从输出PWM重建的体内ECG测量信号，d体内ECG测量信号重构来自曼彻斯特编码输出的

图4b显示了整个模拟链的测量传输曲线，包括复位积分器和PWM生成。低频增益为31.3 ms/V。请注意，缺口是积分周期(555 Hz)的倒数倍，因此不会影响目标信号带宽。该系统使用电池供电，模拟前端的总功耗为280μW，而数字子系统的总功耗为15.4兆瓦。实验结果表明，该系统在50赫兹、1千赫斩波时，输入阻抗分别达到67.4分贝、58.9分贝、16.5兆欧。实现的无杂散动态范围(SFDR)为43.11 dB(补充图1)。在数字部分的输出处测量的数字代码与PWM脉冲宽度之间的线性关系如补充图2所示。图4c显示了一个测量人的心脏活动的活体实验，通过使用放置在胸部的标准湿电极将该项目团队的系统连接到受试者。第三机体电极(为了简单起见，图1中未示出)作为连接到地的基准。图4c显示了通过低通滤波1–200 Hz频带内的输出PWM频谱获得的信号。图4d显示了由曼彻斯特编码的串行数字输出获得的重构信号。在图4e中，显示了与活体测量相对应的105.9kb/s曼彻斯特编码比特流的一段。与一个样本的数字化相对应的比特流重复三次，以减少NFC传输中的错误。输入信号的采样频率为250 Hz，而曼彻斯特编码的比特流以105.9 kb/s的速度生成，因此，有足够的时间将每个采样值重复三次。图5显示了所述系统的箔显微照片。箔的总面积为123.4 mm ² 。

图5 所提供系统的铝箔纸尺寸表1提供了性能总结和与先前文献的比较。这项工作是第一个报道的金属箔电路能够将生物电位输入转换为数字域。此外，它生成105.9kb/s曼彻斯特编码的比特流，与NFC标准兼容。在使用灵活的TFT技术开发生物信号采集系统方面所采取的一些初步步骤已经发表在EEG、EMG、ECG和心率(HR)测量的文献中。比较该项目团队对现有柔性tft电路文献的贡献，在参考文献中，信号不是数字化的。最近发布的一个前端可以使用一个基于TFT的灵活放大器来获取ECG，但它也不能将信号数字化。柔性箔上的HR读数器能够将信号转换为二进制电平，在转换时间内对其进行编码(即PWM输出表示)，但缺少时间采样的数字输出表示(即以位为单位)，这需要与大多数现代无线传输系统兼容。与之相比，该项目团队在这项工作中包含了一个数字子系统(由10位计数器、带曼彻斯特编码器的串行器、时钟分频器和数字相位发生器组成)，它将脉宽调制(PWM)转换为时间采样的数字格式。操作整个系统所需的数字时钟信号也在箔片上产生。除此之外，集成输入噪声为186.3μVrms，这太高了，无法进行ECG测量，只能进行HR测量。在模拟前端，该项目团队在本研究中实现了级联前置放大器后的低通滤波器，它限制了带内噪声和噪声混叠，并在1–100 Hz带宽内启用8μVrms输入等效噪声：这一性能现在与ECG测量兼容。输入信号被转换成脉宽调制(PWM)而不需要数字化in50，并且该电路不提供电压，而是提供电流输入，因此不适合测量生物电位信号。生物电位放大器的典型特征是噪声效率因子NEF:

式中，V _ni,rms是总输入参考噪声，I _tot是放大器的总电源电流，BW是放大器−3 dB带宽，U _T是热电压。从上式可以看出，NEF不考虑电源电压。为此，为了比较具有不同电源电压V _DD的电路，在中引入了功率效率因子PEF。

PEF可以用来描述噪声和功耗之间的权衡，也可以用来比较不同电源电压下不同生物信号采集前端的功率效率。在这项工作中，该项目团队通过实验获得了NEF和PEF分别等于109.81和1.20105。与之前使用柔性TFT实现的生物信号采集前端的最佳NEF和PEF相比，这些数字分别提高了13%和86%。这些进步是由于更好的TFT技术和电路改进而获得的。在这项工作中使用的自对准IGZO技术确实具有相对较低的Hooge因子，因此提供较少的1/f噪声。此外，由于采用了双栅TFT结构，获得了更大的输入跨导，有利于前端的噪声和功率效率。这篇文章展示了基于与NFC标准兼容的柔性电子技术的生物医学应用智能膏药的基本步骤。模拟前端在1–100Hz波段测量的输入参考噪声为8μVrms，这是迄今为止在a-IGZO TFT电路中报告的最低输入参考噪声。实验结果表明，该系统在50赫兹、1千赫斩波时，输入阻抗分别达到67.4分贝、58.9分贝、16.5兆欧。输出被转换到数字域并作为105.9kb/s曼彻斯特编码的串行比特流提供。据作者所知，这是第一个演示ECG采集系统，采用柔性IGZO TFT箔材，提供与NFC标准兼容的数字串行输出位流。数字部分的功耗为15.4兆瓦，模拟部分的功耗为280微瓦。NEF和PEF分别为109.81和1.20×105，这是迄今为止文献报道的IGZO TFT电路的最佳值。该系统是以a-IGZO为半导体，采用双栅自对准tft制作而成的，只产生n型tft。a-IGZO-TFT的截面示意图如图6a所示。该层叠层由塑料衬底、缓冲层、背栅(BG)金属M0、背栅介质、a-IGZO、顶栅介质SiO ₂ 、顶栅(TG)金属M1、层间介质和源/漏(S/D)金属M2组成。制造过程首先在聚酰亚胺塑料基板上沉积缓冲层。然后采用物理气相沉积(PVD)方法沉积BG金属(MoCr)。接下来是在350°C下通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积背栅电介质 (SiO ₂ )。下一步包括直流溅射和湿法刻蚀图案化沉积a-IGZO层(20 nm ，O ₂/Ar比10% )。然后，在250°C下使用PECVD沉积顶部栅介质 (SiO ₂ )，然后进行TG金属(Mo)层沉积。然后，在组合步骤中使用干湿蚀刻对包括金属层和电介质的栅极叠层进行图案化。然后通过PECVD在250°C下沉积层间介质(SiNx)。随后使用干蚀刻对接触过孔进行图形化。在同一步骤中，BG、TG和S/D被联系起来。最后一步是用PVD沉积S/D(Ti-Al-Ti)金属，并用干法刻蚀图形。最后，样品在240°C氮气中退火1小时。

图6  a TFT的剖视图，b TFT的的Id-Vgs的转移曲线，c V T 分布，d 43个测试TFT的样品中的移动性的分布。用于TFT工艺的柔性聚酰亚胺基板在制造期间固定在玻璃上，然后释放。用这种方法实现的电路可以在不显著改变其电气特性的情况下进行弯曲。图6b显示了43个tft的传输特性，每个tft的纵横比为10/5(µm/µm)。图6c显示了这些tft的阈值电压(VT)分布。中位数VT为−0.36 V，阈值标准偏差为0.21 V。图6d显示了TFT的迁移率分布，中值为14.47 cm2/Vs，标准偏差为1.30 cm2/Vs。为了表征前置放大器(图4a)，被测设备已通过合适的机械连接器(Yokowo DS CCNL-050-47-FRC)连接到现成的电压缓冲器(TIOPA445AP)，然后是用于差分到单端转换的仪表放大器(TI INA111AP)。仪表放大器的输出连接到HP35670A动态信号分析仪，以测量频率响应和输出噪声。10 mVp–p正弦波和5V直流基准分别应用于前置放大器(图3a)的正输入( V _in+)和负输入( V _in-)。电源电压为10 V。在六个样本上测量的前置放大器增益在23.1–27.5 dB的范围内变化，带宽在3.1到4.3 kHz之间，如补充图3所示。对于全模拟链特性(图4b)，将一个频率变化的10-mVp-p正弦波应用于系统的输入，并观察到输出PWM。使用Digilent®Analog Discovery 2板获取输出数据。滤波输出PWM的基波与应用输入的比值提供了整个模拟链(从输入到输出PWM)记录的每个频率响应点。在体测量是通过将湿电极(Kendall'sH124SG)放置在胸部，间距约为5厘米，将该项目团队的系统与受试者连接起来。第三体电极用作接地电极。使用Digilent®Analog Discovery 2板采集10秒的输出数据。使用MATLAB®和Butterworth滤波器在1–200赫兹范围内过滤输出频谱。通过将输出信号除以先前记录的全链增益来重构ECG信号，以获得输入参考ECG信号。六个样品的体内测量如补充图4所示。原文链接：https://www.nature.com/articles/s41528-020-0077-x来源：柔性电子服务平台