脉冲宽度调制pdm_两个相同Vpp驱动的 PAM4 MZ调制器

演示了一个硅PAM4光学马赫曾德尔调制器，它由两个具有相同峰峰值电压的二进制电信号驱动。使用该设备，可以呈现90 Gbps的PAM4眼图。(ACP2019)

第2节    设计与制作

硅PAM4光学Mach-Zehnder调制器的结构如图1(a)所示。一个臂的共面波导(CPW)电极长度是调制器另一臂的两倍。

MZ调制与PAM信号生成的原理，见下面链接：

MZM调制与高阶PAM生成

将两个二进制电信号(具有相同的峰峰值电压V0的信号1和信号2)施加到调制器的两个臂上。调制之后，可以实现PAM4光信号。两个热移相器用于补偿调制器两个臂之间的相位差。

图1.-(a)硅PAM4光学Mach-Zehnder调制器的结构，(b)PN结的横截面，(c)器件的俯视显微图。

PN结的横截面如图1(b)所示。通过深度为150nm的硅蚀刻形成的脊形波导的宽度为400nm，高度为220nm。p掺杂区和n掺杂区的浓度为1 ×10^18/cm^3和8 ×10^17/cm^3，而重p掺杂和n掺杂浓度均为5.5 ×10^20/cm^3。图1(c)是调制器的显微照片，调制器是在8英寸绝缘体上硅(SOI)晶圆上制造的，顶部硅层厚度为220nm，2μm-新加坡IME(现为AMF)的厚二氧化氮埋层。调制器的CPW电极长度为1mm和0.5mm。在电极的末端，集成了终端电阻(33Ω)以吸收电信号