本文导读：
1，如何学透并利用好Comsol的经典案例库进行DIY仿真和论文创作。
2，COMSOL中压电材料极化轴的取向和设置。
之前模数哥发文介绍过Comsol案例库的宝贵价值：模数哥谈Comsol仿真系列2——最好的仿真学习资料来了。这些软件自带的案例是软件的门面，都是经过精心挑选的，大概可以分为两类：一类是基于一些实用化的器件或者工艺，可以指导工科专业的同行进行器件优化和设计；另一类则是精选的一些文献仿真案例，为我们修修改改，旧瓶装新酒进行灌水提供了第一手参考。也就是说只要你把案例库的某些案例搞懂、吃透，我们肯定可以“创作”出自己的的文章来毕业的。
以案例库MEMS模块下的Thin film bulk acoustic wave resonator案例为例，这其实是介绍了2001年发表在IEEE上的工作：Finite element simulations of thin- film composite BAW resonators。这种所谓的薄膜体声波（BAW）谐振器，简称fbar，是在一块很薄的衬底上激发出压电薄膜材料的纵模（沿极化方向），一般作为射频领域的窄带滤波器，具有体积小的优势。文章介绍了如何使用特征频率分析和频率响应分析在二维模式下对薄膜体声波谐振器进行建模，具体细节，感兴趣的朋友看看该案例。
我们这里对压电材料多说几句，压电材料是一种各向异性材料，如氧化锌，PZT，大都是陶瓷材料，在取向的时候有个极化轴c，沿着轴向的机电耦合系数最大。一般的，在Comsol中如果没有特殊说明，压电材料的c轴都是z方向。这就要求我们在设置压电材料参数的时候尤其要注意坐标轴的选取，即保证材料c轴是沿着我们想要的方向。如上图中的2D仿真模型，Comsol中二维面内坐标一般设x轴、y轴，这就要求我们选择材料的坐标为x-z截面，这样压电材料的极化轴（材料的z轴）便是沿着模型的y轴了。
到了2011年，在美国非匹兹堡大学做博士后的秦利锋老师奇思妙想，将这个BAW谐振器的压电材料c轴进行了一定的旋转，是x轴、y轴的叠加。这样一来，该谐振器所能激发的模式就更加丰富了，不仅能够激发出原有的纵模（longitudinal mode，有效振幅为y轴的电场方向），还可以激发出剪切模（shear mode，有效振幅在x轴向，即平行于电极方向），如下图：
秦老师的这个理论仿真工作发表在J. Appl. Phys上，标题是Viscosity sensor using ZnO and AlN thin film bulk acoustic resonators with tilted polar c-axis orientations，doi:10.1063/ 1.3657781。后来秦老师回国在厦门大学任教继续这方面的工作。
关于fbar的故事远没有结束，即使到了2016，仍有不少人靠着fbar的有限元仿真来发文章，比如有意大利人在《Procedia Engineering》杂志上继续重复着秦老师类似的工作：Finite element modeling and synthesis of c-axis tilted AlN TFBAR for liquid sensing applications，利用这种剪切模来做一些传感。
上图为该仿真模型示意图，和Comsol的那个案例完全类似，最大区别就是氮化铝材料的极化轴与x3坐标轴有一定倾角。频域仿真下来我们可以得到压电材料的位移谱线（原图Fig.2a）:
我们可以通过对模型的应变分布图来区别这两个模式：
设置压电材料极化轴的不同倾角，可以得到相应的导纳曲线（Fig.3a）:
改变压电材料两侧的导体厚度，其导纳曲线变化趋势（Fig.3b）：
关于这幅图我们可以多说两句：
1，上图表示金属层越厚，谐振峰频率越低，这是很好理解的，因为金属层越厚，模型的质量越大，谐振频率自然会降低。
2，图中100nm厚度的纵模峰值有些偏低，与原文略有区别，这怪模数哥偷懒了。模数哥心里也苦啊，因为两个谐振峰离得太远了，品质因子又那么高。为了更快地得到结果，模数哥在扫频的时候设置了好多段，并将谐振峰附近的扫描步长设得很小。结果误判了金属层100nm厚时的谐振峰位置。这同时也说明了仿真的作用，就是预判。
最后的忠告：模数哥建议大家没事多翻翻案例库，这都是宝贝啊。仿真的案例真的不需要多，重点是吃透。能够举一反三，能够触类旁通，能够给自己出“难题”。
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