在vs.net实现向导式窗口_利用 COMSOL Multiphysics 实现压电器件仿真

早在1880年居里兄弟发现了压电效应。他们指出，当把一重物放在一石英晶体上时，在晶体表面上出现了电荷，电荷量和重物的质量成正比。因此，压电效应起到了电路与晶体机械特性之间的耦合作用。压电材料已被用来制作智能结构，此类结构能将振动能源和机械能转化为电能的能量采集器是实现孤立、可持续能源生产的非常有前途的工具。特别是由于灵活和轻量级的能量收集装置在一个薄塑料衬底可以使及其微小的运动风,水流动,心跳,隔膜的活动或者呼吸运动变成电信号,这样不仅可以实现一些电子系统的自我供电,但也为植入式生物医学设备提供永久电源，例如起搏器和深部脑刺激器等等。例如以下这篇发表在Advanced Materials上的工作通过激光发射工艺在柔性基板上演示了大面积PZT薄膜，实现了高效、轻便、灵活的压电能量采集装置。文章中还利用仿真模拟计算了输出电压与电极距离的关系。

（图片源于Adv. Mater. 2014, 26, 2514–2520.）

COMSOL Multiphysics是一款功能强大的多物理场仿真软件，应用面十分广泛，可以用于各个科研领域的仿真模拟。利用COMSOL Multiphysics的结构力学接口就可以非常方便的对压电器件进行仿真分析，可以很直观地观察到压电材料表面的电势分布和材料本身的变形情况。下面我们就来学习一下如何用COMSOL模拟压电器件。

一． 压电效应

压电效应的原理是，如果对压电材料施加压力，它便会产生电位差（称之为正压电效应），反之施加电压，则产生机械应力（称为逆压电效应）。如果压力是一种高频震动，则产生的就是高频电流。而高频电信号加在压电陶瓷上时，则产生高频声信号（机械震动），这就是我们平常所说的超声波信号。也就是说，压电陶瓷具有机械能与电能之间的转换和逆转换的功能。

（图片源于SCIENTIFIC REPORTS 2017,7,44859.）

二． 模型定义

该模型由100mm长的夹层悬臂梁构成，模拟使用压电材料的剪切模式使尖端发生偏转的夹层梁。

图1 几何模型

该梁由两个 8 mm 厚的铝层和夹在铝层中间的 2 mm 厚的柔性泡沫芯组成。另外，在该装置中，将 x = 55 mm 至 x = 65 mm 之间的泡沫芯由 10 mm 长的压电陶瓷执行器替代。悬臂梁沿全局 x 轴方向设置。系统在x = 0 处的悬臂梁表面是固定的，其他所有位置的表面不受约束。

三． 模型建立与仿真

01 新建模型

从文件菜单中选择新建。在新建窗口中，单击模型向导。在模型向导窗口中，单击三维。在选择物理场树中选择结构力学 > 压电器件。单击添加，单击研究。在选择研究树中选择一般研究 > 稳态。单击完成。

02 建立几何模型

该模型需要建立两个长方体。在模型开发器窗口的组件 1 (comp1) 节点下，单击几何 1。在几何的设置窗口中，定位到单位栏。从长度单位列表中选择mm。

首先建立第一个长方体。在几何工具栏中单击长方体。在长方体的设置窗口中，定位到大小和形状栏。在宽度文本框中键入 “100”。在深度文本框中键入 “30”。在高度文本框中键入 “18”。右键单击长方体 1 (blk1) 并选择构建选定对象。然后建立第二个长方体：在几何工具栏中单击长方体。在长方体的设置窗口中，定位到大小和形状栏。在宽度文本框中键入 “100”。在深度文本框中键入 “30”。在高度文本框中键入 “2”。定位到位置栏。 在 z 文本框中键入 “8”。单击以展开层栏。 找到层位置子栏。 选中左复选框。清除底面复选框。在表中输入以下设置：层1，厚度（mm）为“55”；层2，厚度（mm）为“10”. 单击构建所有对象。

图2 长方体设置

03 定义坐标系和物理场

定义一个坐标系，使该坐标系的第三轴与全局 x 轴 （即压电陶瓷材料的极化方向）对齐。选择第二轴与全局 y 轴平行。在定义工具栏中单击坐标系，然后选择基矢坐标系。在基矢坐标系的设置窗口中，定位到设置栏。找到基矢子栏，在表中输入设置如下（将其他分量保留为默认值）：

找到简化子栏。 选中假设标准正交复选框。接下来在压电陶瓷上施加静电和固体力学物理场：在模型开发器窗口的组件 1 (comp1) 节点下，单击静电 (es)。在静电的设置窗口中， 定位到域选择栏。单击清除选择。选择 “域”4。在物理场工具栏中单击静电 (es)，然后选择固体力学 (solid)。在模型开发器窗口的组件 1 (comp1)> 固体力学 (solid) 节点下，单击压电材料1。在压电材料的设置窗口中，定位到域选择栏。单击清除选择。选择 “域”4。定位到坐标系选择栏。从坐标系列表中选择基矢坐标系2 (sys2)。

04 添加材料

该模型需要添加三种材料：铝，泡沫和压电陶瓷。对于铝层，使用库材料。对于泡沫芯，手动指定材料属性。压电陶瓷 PZT-5H 为预定义材料，可直接使用。

具体操作步骤如下：在主屏幕工具栏中，单击添加材料以打开添加材料窗口。转到添加材料窗口。在模型树中选择 MEMS>Metals>Al - Aluminum / Aluminium。单击窗口工具栏中的添加到组件。在材料的设置窗口中， 定位到几何实体选择栏。单击清除选择。选择 “域” 1 和 3。

图3 铝层材料设置

接下来添加泡沫芯：在模型开发器窗口的组件1 (comp1) 节点下，右键单击材料并选择空材料。在材料的设置窗口中，在标签文本框中键入“泡沫”。选择“域”2和5。定位到材料属性明细栏。在表中输入设置如下图所示：

图4 泡沫材料设置

接下来设置压电陶瓷材料：转到添加材料窗口。在模型树中选择压电 >Lead Zirconate Titanate (PZT-5H)。单击窗口工具栏中的添加到组件。在主屏幕工具栏中，单击添加材料以关闭添加材料窗口。选择“域”4。

05 物理场设置

该模型需要在一端施加一个固定约束，并在压电陶瓷上加20V电势。在物理场工具栏中单击边界，然后选择固定约束。选择“边界”1、4和7。在模型开发器窗口的组件1 (comp1) 节点下，单击静电 (es)。在物理场工具栏中单击边界，然后选择电势。选择“边界”16。在电势的设置窗口中，定位到电势栏。在 V0 文本框中键入“20”。在物理场工具栏中单击边界，然后选择接地。选择“边界”17。

06 网格设置

该模型中用到网格。具体操作步骤如下：在模型开发器窗口的组件1 (comp1) 节点下，右键单击网格1并选择扫掠。右键单击扫掠1并选择分布。在分布的设置窗口中，定位到分布栏。在单元数文本框中键入“2”。单击全部构建。在图形工具栏中单击缩放到窗口大小按钮。

07 研究和结果

在主屏幕工具栏中单击计算。

首先绘制在应力作用下的位移变化。在模型开发器窗口的结果节点下，单击应力 (solid)。在三维绘图组的设置窗口中，在标签文本框中键入“位移 (solid)”。在模型开发器窗口中展开结果 > 位移 (solid) 节点，然后单击表面 1。在表面的设置窗口中，单击表达式栏右上角的替换表达式。从菜单中选择模型 > 组件 1> 固体力学 > 位移 > 位移场 - m>w - 位移场， Z 分量。定位到表达式栏。从单位列表中选择 nm。在位移 (solid) 工具栏中单击绘制。在图形工具栏中单击切换到默认视图按钮。

接下来绘制压电陶瓷域内的电势：在模型开发器窗口中展开电势 (es) 节点。右键单击多切面 1 并选择删除。在模型开发器窗口的结果节点下，右键单击电势(es) 并选择表面。在表面的设置窗口中，单击表达式栏右上角的替换表达式。从菜单中选择模型 > 组件1> 静电 > 电 >V - 电势 - V。在电势 (es) 工具栏中单击绘制。在图形工具栏中单击缩放到窗口大小按钮。