本文介绍了如何利用COMSOL Multiphysics®进行压阻式压力传感器的仿真设计，探讨其优势，并通过一个案例展示了软件在评估传感器性能方面的强大功能。压阻式传感器在生物医学和汽车等领域广泛应用，尽管存在耗电量高、噪声大的缺点，但因其易于集成和线性响应等优点而被广泛采用。借助COMSOL Multiphysics®，可以进行多物理场耦合分析，从而准确评估传感器性能。
设计压阻式压力传感器等 MEMS 设备是一项极富挑战的工作，这是因为精确描述此类设备的工作条件需要基于多个物理场的耦合分析。借助 COMSOL Multiphysics®，您便可以轻松地耦合多物理场仿真，进而便捷地测试设备性能并获取精确的分析结果。今天，我们将通过一个示例来展示软件的这一强大功能。
压阻式压力传感器的优势
压阻式压力传感器是首款商用的 MEMS 设备。作为压力传感器市场占有率最高的产品，此类设备在众多应用领域拥有着极为广泛的用途。血压测量仪和汽车发动机中的油（气）量表是其最常见的应用示例。
压阻式压力传感器在生物医学领域及汽车行业的应用。左图：血压测量装置。图像由 Andrew Butko 拍摄。已获 CC BY-SA 3.0 许可，通过 Wikimedia Commons 共享。右图：汽车油表。图像由 Marcus Yeagley 拍摄。已获 CC BY-SA 2.0 许可，通过 Flickr Creative Commons 共享。
相比于电容式
最低0.47元/天 解锁文章
扫一扫
1987
被折叠的 条评论
为什么被折叠?
到【灌水乐园】发言
