电容式传感器
1 电容传感器定义
电容传感器是指将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的一种传感器。电容器是由两块金属电极之间夹一层绝缘电介质构成。当在两金属电极间加上电压时,电极上就会存储电荷,所以电容器是储能元件。
2 电容传感器原理

两个平行极板组成的电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为:
C = ε 0 ε A δ C={\frac{\varepsilon_0\varepsilon A}{\delta}} C=δε0εA
式中, ε 0 = 8.85 × 1 0 12 F / m \varepsilon_0= 8.85×10^{12}F/m ε0=8.85×10