![d8bbf763aa8c27020a7c0b8560dff2ed.png](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/d8bbf763aa8c27020a7c0b8560dff2ed.png)
![8c96665cfbd02b9e7a01dfc5720966e7.png](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/8c96665cfbd02b9e7a01dfc5720966e7.png)
![ebe49c3b680c0833aeac57ad72dbfa11.png](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/ebe49c3b680c0833aeac57ad72dbfa11.png)
二次电子(SE)按照其产生的原理可以分成 SE1、SE2、SE3 和 SE4,但是在实际使用的时候会发现难以对 SE1~SE4 进行严格的区分,因此我们把 SE 分成更加实用、更容易从操作上掌握的低角 SE、高角 SE 和轴向 SE 这三种 SE 信号。
背散射电子(BSE)根据角度不同将其区分为 低角 BSE、中角 BSE、高角 BSE;又从对称性的角度分离出非对称的 Topo-BSE;以及从能量的角度分离出 Low-Loss BSE 信号,分为了 五种 BSE 信号。 以上3种 SE 信号和5种 BSE 信号,加上本章介绍的减速模式下的信号 SE+BSE (BDM) , 一共有九种信号。 这九种信号往往需要不同的电镜条件,也有不同的衬度特点,各自信号有着独特优势的同时也存在相应的缺点,具体请参见表1。表1
信号 | 衬度 | 工作距离 | 分辨率 | 表面敏感度 | 抗荷电能力 | 景深立体感 |
二次电子(SE) | ||||||
低角SE | 形貌为主 | 均可 | 一般 | 好 | 好 | 好 |
高角SE | 形貌、电位为主 | 短 |