二次探测再散列举例_学术干货丨细谈扫描电镜中的二次电子和背散射电子

来源丨TESCAN 中国信号类型二次电子(SE)按照其产生的原理可以分成 SE1、SE2、SE3 和 SE4,但是在实际使用的时候会发现难以对 SE1~SE4 进行严格的区分,因此我们把 SE 分成更加实用、更容易从操作上掌握的低角 SE、高角 SE 和轴向 SE 这三种 SE 信号。背散射电子(BSE)根据角度不同将其区分为低角 BSE、中角 BSE、高角 BSE;又从对称性的角度分...
摘要由CSDN通过智能技术生成
d8bbf763aa8c27020a7c0b8560dff2ed.png 来源丨TESCAN 中国 8c96665cfbd02b9e7a01dfc5720966e7.png 信号类型 ebe49c3b680c0833aeac57ad72dbfa11.png

 二次电子(SE)按照其产生的原理可以分成 SE1、SE2、SE3 和 SE4,但是在实际使用的时候会发现难以对 SE1~SE4 进行严格的区分,因此我们把 SE 分成更加实用、更容易从操作上掌握的低角 SE、高角 SE 和轴向 SE 这三种 SE 信号。

背散射电子(BSE)根据角度不同将其区分为 低角 BSE、中角 BSE、高角 BSE;又从对称性的角度分离出非对称的 Topo-BSE;以及从能量的角度分离出 Low-Loss BSE 信号,分为了 五种 BSE 信号。 以上3种 SE 信号和5种 BSE 信号,加上本章介绍的减速模式下的信号 SE+BSE (BDM)一共有九种信号这九种信号往往需要不同的电镜条件,也有不同的衬度特点,各自信号有着独特优势的同时也存在相应的缺点,具体请参见表1。

表1

信号 衬度 工作距离 分辨率 表面敏感度 抗荷电能力 景深立体感
二次电子(SE)
低角SE 形貌为主 均可 一般
高角SE 形貌、电位为主
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